Bộ điều khiển máy sấy bằng tia hồng ngoại kỹ thuật số
Tại sao các bề mặt phản xạ được phủ vàng lại quan trọng trong quá trình sấy wafer?
Khi sấy wafer, chúng ta không chỉ cần nhiệt độ cao, mà còn cần...
Máy sấy FOUP (Buồng thống nhất mở phía trước)
Trên sàn lithography, một FOUP lăn vào đường ray với 25 wafer, mỗi wafer đều được phủ photohồng ngoại mới. Mô-đun nướng phải hạ xuống đúng vị trí,...