Máy sấy FOUP (Buồng thống nhất mở phía trước)

Trên sàn lithography, một FOUP lăn vào đường ray với 25 wafer, mỗi wafer đều được phủ photohồng ngoại mới. Mô-đun nướng phải hạ xuống đúng vị trí,...