http://ir-heat-china.com/vi/tags/tay-%C3%A1o/ Recent content in Tay Áo on China Infrared Heating Manufacturer Hugo vi Mon, 01 Jun 2026 02:38:09 +0800 http://ir-heat-china.com/vi/posts/quartz-sleeve-for-fab-ir-lamp/ Mon, 01 Jun 2026 02:38:09 +0800 http://ir-heat-china.com/vi/posts/quartz-sleeve-for-fab-ir-lamp/ <p><img src="http://ir-heat-china.com/images/a071a4619f1d04d8f3e2839bd3740f1c.png" alt="Ống thạch anh cho đèn hồng ngoại fab"></p> <p>Trên sàn lithography, soft bake và hard bake không thể thương lượng. <a href="https://henruite.com">Photoresist</a> hoạt động theo đúng ngân sách nhiệt đã định — không có ngoại lệ. Nếu đèn IR yếu hoặc không ổn định, bạn sẽ không có cơ hội làm lại. Bạn sẽ gặp hiện tượng biến động độ rộng đường line, cặn bẩn và phế phẩm.<br> Bạn đang chạy wafer 300 mm qua một chu trình chặt chẽ — phủ, bake, phơi sáng, phát triển. Hồ sơ nhiệt phải được lặp lại chính xác, wafer này sang wafer khác, lô này sang lô khác. Khi vỏ đèn quá nóng, điểm đặt nhiệt bị trôi. Khi ống sleeve truyền nhiệt không đều, vùng mép wafer có nhiệt độ khác với trung tâm. Dụng cụ có thể bù trừ nhưng cửa sổ quy trình bị thu hẹp.<br> Một ống quartz cho đèn IR trong fab không phải là vật tiêu hao mà bạn chấp nhận một cách miễn cưỡng. Nó là giao diện giữa nguồn nhiệt và photoresist của bạn. Nó quyết định tính đồng đều, khả năng lặp lại và thời gian hoạt động.</p>