为什么在制造工厂中必须使用石英玻璃护罩 让我们来谈谈制造工厂中的红外线加热灯。我们都知道，这类灯光是晶圆加工过程中的关键部件。但问题在于：大部分热量其实都浪费掉了。如果你希望实现绿色能源目标或减少能源浪费，那就需要知道有多少热量真正作用于晶圆上，又有多少热量只是用来加热车间而已。 这时，石英玻璃护...

在光刻车间，软烘和硬烘没有商量余地。光刻胶的表现完全由热预算决定——没有例外。如果红外灯功率弱或不稳定，就没有重来的机会。结果是线宽变化、残渣和报废。 你正在将300 mm晶圆通过一个紧密的循环——涂布、烘烤、曝光、显影。热剖面必须在晶圆之间、批次之间重复保持一致。当灯罩过热时，设定点会漂移。当石...