用于光刻机的石英玻璃防护罩

Tue, 21 Jul 2026 09:37:07 +0800

为什么在制造工厂中必须使用石英玻璃护罩
让我们来谈谈制造工厂中的红外线加热灯。我们都知道，这类灯光是晶圆加工过程中的关键部件。但问题在于：大部分热量其实都浪费掉了。如果你希望实现绿色能源目标或减少能源浪费，那就需要知道有多少热量真正作用于晶圆上，又有多少热量只是用来加热车间而已。

这时，石英玻璃护罩就派上用场了。
关键在于热量的传递方式。
普通的玻璃会阻挡大量的红外线辐射，但高纯度的熔融石英则相当于为短波能量打开了一扇“门”。由于热量可以直接穿过石英玻璃而不会被吸收，因此无需提高功率来弥补热量损失。这样就能降低每块晶圆所需的能耗。

用于制造红外灯的石英套管

Mon, 01 Jun 2026 02:38:09 +0800

在光刻车间，软烘和硬烘没有商量余地。光刻胶的表现完全由热预算决定——没有例外。如果红外灯功率弱或不稳定，就没有重来的机会。结果是线宽变化、残渣和报废。

你正在将300 mm晶圆通过一个紧密的循环——涂布、烘烤、曝光、显影。热剖面必须在晶圆之间、批次之间重复保持一致。当灯罩过热时，设定点会漂移。当石英套管传热不均时，边缘温度会与中心不同。设备可以补偿，但工艺窗口会被压缩。