用于晶圆的精密红外传感器

Fri, 10 Jul 2026 12:30:20 +0800

在芯片制造厂中减少碳排放：为何精准的红外加热如此有效
如今，大家都在谈论“绿色工厂”的概念。但如果你经营的是半导体制造厂，你就知道，要减少碳排放，关键在于如何控制热量。
传统的电阻式加热器其实很浪费能源——它们会加热整个空间，包括腔室、空气以及墙壁，基本上除了那些真正需要加热的部件之外，其他地方都会被加热。
因此，我们转向了精准的红外加热技术。与其让整个房间都升温，不如将能量直接传递到晶圆表面。
关键在于能量密度。
我们使用短波红外灯以及高功率密度的灯具，从而快速达到所需的温度。这样一来，每块晶圆所需的能耗就会降低。
不过，不能简单地提高功率来加速加热过程。那样做会导致局部过热，而没人希望得到变形的硅片。关键是要找到合适的参数，让热量分布均匀。
真正的节能点在哪里？
人们往往忽视的一点就是“隐藏的能源”。当使用红外加热技术后，就不再有那些闲置的加热设备了。我们利用石英外壳和反射器，让每一个光子都重新照射到目标区域。因为热量不会散失到整个洁净室里，所以空调和制冷系统就不必那么努力地工作来维持低温。这就是真正能够有效降低碳排放的方法。
不过，这并非万能的解决方案。
说实话，红外加热并不是一种“设置好后就可以不管”的解决方案。必须精确调整传感器参数。如果PID控制系统的设定不符合红外灯的反应速度，就可能导致温度超限，从而烧毁晶圆。此外，灯具也会随时间老化，其光谱输出也会发生变化。因此，必须不断调整功率输入，以保持稳定的温度。虽然需要更多细心操作，但所带来的能源效率和经济效益绝对是值得的。

用于电子产品的精准红外加热器

Wed, 01 Jul 2026 13:06:03 +0800

在光刻厂中，感光材料的烘烤过程并非简单的预热步骤，而是一个至关重要的工艺环节。如果在软烘阶段温度出现2°C的波动，就可能导致晶圆上各处的尺寸出现偏差。因此，我们设计了高精度的红外加热器，以确保温度能够精确控制在关键范围内。

从技术角度来看，什么才是最重要的？ 我们使用短波近红外光源，其辐射效率非常高，响应时间在几分之一秒之内。这样一来，晶圆表面的温度均匀性可以保持在±0.1°C以内。加热器的材质为石英和高纯度陶瓷，不会产生任何气体或颗粒物，从而保证工作环境处于1-100级洁净室标准之下。此外，加热器的温度重复性也非常好，为±0.5°C，这样每次烘烤时，晶圆所承受的温度都保持一致。闭环控制系统则通过经过校准的测温仪和稳定的固态继电器来消除晶圆边缘的温度差异。

精确度 on China Infrared Heating Manufacturer

用于晶圆的精密红外传感器

用于电子产品的精准红外加热器