http://ir-heat-china.com/zh/tags/%E7%BB%87%E7%89%A9/ Recent content in 织物 on China Infrared Heating Manufacturer Hugo zh Mon, 01 Jun 2026 02:38:09 +0800 http://ir-heat-china.com/zh/posts/quartz-sleeve-for-fab-ir-lamp/ Mon, 01 Jun 2026 02:38:09 +0800 http://ir-heat-china.com/zh/posts/quartz-sleeve-for-fab-ir-lamp/ <p><img src="http://ir-heat-china.com/images/a071a4619f1d04d8f3e2839bd3740f1c.png" alt="用于制造红外灯的石英套管"></p> <p>在光刻车间，软烘和硬烘没有商量余地。光刻胶的表现完全由热预算决定——没有例外。如果红外灯功率弱或不稳定，就没有重来的机会。结果是线宽变化、残渣和报废。</p> <p>你正在将300 mm晶圆通过一个紧密的循环——涂布、烘烤、曝光、显影。热剖面必须在晶圆之间、批次之间重复保持一致。当灯罩过热时，设定点会漂移。当石英套管传热不均时，边缘温度会与中心不同。设备可以补偿，但工艺窗口会被压缩。</p>