শ্যাডরগুলো থামান: ইনফ্রারেড ল্যাম্পের ত্রুটি থেকে আপনার ওয়েফারগুলোকে রক্ষা করুন।
সত্যি বলতে, ইনফ্রারেড ল্যাম্প ভেঙে যাওয়া খুবই ভয়ঙ্কর ব্যাপার। যখন উচ্চ লোডের অবস্থায় ল্যাম্পটি ভেঙে যায়, তখন শুধুমাত্র কাজ বন্ধ হয়ে যায় না; বরং কোয়ার্টজের টুকরো ও রাসায়নিক পদার্থগুলো ওয়েফারগুলোর উপর পড়ে। এটা খুবই ঝামেলার ব্যাপার; এর জন্য অনেক খরচও হয়। এটা কেউই চায় না।
এই কারণেই আমরা আমাদের ক্লিন রুম হিটারগুলোকে “সবচেয়ে খারাপ পরিস্থিতি” বিবেচনা করে তৈরি করি।
নিরাপত্তা ব্যবস্থা
আমরা শুধুমাত্র কোয়ার্টজ টিউবের উপর ভরসা করি না। আমরা পুরো ডিভাইসটিকে একটি অতিরিক্ত আবরণে মুড়ে রাখি। এটাকে এক ধরনের বীমা হিসেবে ভাবুন। যদি মূল ল্যাম্পটি তাপীয় ধাক্কার কারণে ভেঙে যায়, তবে এই আবরণটি সব ধ্বংসাবশেষগুলোকে আটকে রাখে। ফলে কিছুই ওয়েফারগুলোর উপর পড়ে না। এছাড়াও, এটা কাজটিকে আরও সহজ করে দেয়—আপনি সমগ্র চেম্বারটি পরিষ্কার করার দরকার নেই, শুধুমাত্র অভ্যন্তরীণ ল্যাম্পটি প্রতিস্থাপন করলেই হয়।
তাপ নিয়ন্ত্রণ
এই ল্যাম্পগুলো চালানোর ফলে তীব্র তাপমাত্রা সৃষ্টি হয়। এটা এড়াতে আমরা উচ্চ-ঘনত্বের কোয়ার্টজ ব্যবহার করি; কারণ এটা তাপীয় পরিবর্তনগুলো সহ্য করতে পারে। আমরা ইলেক্ট্রোডগুলোকে রাসায়নিকভাবে সংযুক্ত করি; যাতে সিলগুলো থেকে গ্যাস লিক না হয়।
কিন্তু আসল রহস্যটি হলো PID কন্ট্রোলারগুলো। এগুলো তাপমাত্রা নিয়ন্ত্রণ করে। যদি কুলিং এয়ারের পরিমাণ কমে যায়, তবে সিস্টেম তৎক্ষণাৎ বিদ্যুৎ বন্ধ করে দেয়। এটা ঘটে ঠিক তখনই, যখন কাঁচটি নরম হওয়ার অবস্থায় পৌঁছায়।
কিছু বিষয় মনে রাখা দরকার
উচ্চ তাপমাত্রা ভালো হলেও, এটা ডিভাইসগুলোর উপর অনেক চাপ সৃষ্টি করে। যদি আপনি সর্বোচ্চ ওয়াটেজে ডিভাইসটি চালান, তবে আপনার ইলেকট্রিক্যাল কানেক্টরগুলো ক্ষতিগ্রস্ত হবে। আপনাকে নিশ্চিত হতে হবে যে আপনার ওয়্যারিংগুলো এই কারেন্ট সহ্য করতে পারে; নইলে টার্মিনালগুলো গলে যাবে। আমরা শক্তিশালী ওয়্যারিং ব্যবহার করি; কিন্তু তবুও আপনাকে নিয়মিত রক্ষণাবেক্ষণ করতে হবে।
প্রতি ৫০০ ঘন্টা অন্তর আপনার সিলগুলো পরীক্ষা করুন। যদি সিলগুলো ঢিলে হয়ে যায়, তবে ওয়েফারগুলো দ্রুত নষ্ট হয়ে যাবে।
চেম্বারটিকে পরিষ্কার রাখুন; বাতাস চলতে দিন। আপনার ওয়েফারগুলো আপনাকে ধন্যবাদ জানাবে।