ফ্যাব ফ্লোরে, ক্লিনিং-এর পরের ধাপটিই হলো সেই ধাপ, যেখানে কয়েক মিনিটের মধ্যেই উৎপাদনের মান কমে যেতে পারে। ওয়েফারটি ক্লিনিং/রিনসিং প্রক্রিয়ার পর বের হওয়ার সময় এর পৃষ্ঠে এখনও অল্প পরিমাণে খসখসেতা ও আর্দ্রতা থাকে। যদি পরবর্তী হিটিং প্রক্রিয়াটি সঠিকভাবে না হয়, তাহলে দ্রবণগুলো ওয়েফারের পৃষ্ঠে থেকে যায়; ফলে ফটোরেসিস্টগুলো ঠিকমতো আঠালো হয় না, এবং ওয়েফারের আকার নিয়ন্ত্রণ করা কঠিন হয়ে যায়। আমরা এই সমস্যাগুলো দূর করার জন্য ক্লিনিং-এর পরে ব্যবহৃত ইনফ্রারেড হিটার তৈরি করেছি।
প্রযুক্তিগতভাবে কী গুরুত্বপূর্ণ?
এই যন্ত্রটিতে কোয়ার্টজ-সহায়িত মডিউল ব্যবহৃত হয়েছে; এর ফলে দ্রুত ও কার্যকরভাবে ওয়েফারটি গরম হয়, আর চেম্বারটি ভিজে যায় না। ৮০°C থেকে ২৫০°C পর্যন্ত ওয়েফারের পৃষ্ঠের তাপমাত্রা প্রায় ±০.১°C এর মধ্যেই থাকে। প্রতিক্রিয়ার সময় ৩ সেকেন্ডেরও কম; ফলে তাপীয় নিয়ন্ত্রণ খুবই ভালোভাবে হয়।
ক্লিনরুমের সাথে সামঞ্জস্য:
এই যন্ত্রটি Class 1–100 মানসম্মত উপাদানগুলো ব্যবহার করে তৈরি হয়েছে; এর ফলে ক্লিনরুমে ব্যবহারের সময় কোনো সমস্যা হয় না। এছাড়া, এখানে একটি এক্সহস্ট সিস্টেম রয়েছে, যা স্থিতিশীল অবস্থায় কোনো কণা উৎপন্ন না হতে সাহায্য করে। নিয়ন্ত্রণটি ক্লোজড-লুপ পদ্ধতিতে হয়; পাইরোমিটার ও রেসিপি সংরক্ষণ ব্যবস্থার ফলে প্রতিবারই একই মান অর্জন করা সম্ভব হয়।
কেন এটি উৎপাদনে কার্যকর?
ক্লিনিং-এর পর ওয়েফারটি এখানে রাখলেই হিটারটি ঠিক সেই তাপমাত্রা তৈরি করে, যা ওয়েফারের জন্য প্রয়োজন। দ্রুত তাপীয় পরিবর্তনের ফলে প্রক্রিয়ার সময় কমে যায়। শক্তি ব্যবহারও নিয়ন্ত্রিত থাকে; ফলে হটপ্লেট-ভিত্তিক পদ্ধতির তুলনায় শক্তি খরচ কম হয়।
নির্ভরযোগ্যতা:
এই যন্ত্রটি ২৪/৭ কাজ করার জন্য ডিজাইন করা হয়েছে; হাজার হাজার প্রক্রিয়া চালানোর পরও অপ্রত্যাশিত বন্ধ থাকার সময় ০.১% এরও কম। এর ফলে কম রিওয়ার্কিং হয়, মান নিয়ন্ত্রণ ভালো থাকে, এবং উৎপাদন ক্ষমতাও ভালো থাকে।
কী বিষয়গুলো বিবেচনা করতে হবে?
ইনস্টলেশনের সময় এক্সহস্ট ডাক্টের আকার এবং ইকুইপমেন্টের ভোল্টেজ ক্লাস বিবেচনা করতে হবে। হিটারটি ছোট হলেও, বায়ুপ্রবাহ ও তাপমাত্রা নিয়ন্ত্রণের জন্য এমিটর উইন্ডোর চারপাশে যথেষ্ট জায়গা দরকার।
রেসিপি স্থানান্তর:
সাধারণ ক্ষেত্রে রেসিপি স্থানান্তর খুবই সহজ। কিন্তু কাস্টম ইন্টিগ্রেশনের ক্ষেত্রে থার্মাল প্রোফাইলটি ওয়েফার ও ক্লিনিং প্রক্রিয়ার সাথে সামঞ্জস্যপূর্ণ করার জন্য কিছুটা সময় দরকার।