ফ্যাব রুমে, ওয়েফার প্রোবিং এবং রেজিস্ট বেকিংয়ের সময় তাপমাত্রার পরিবর্তন শুধুমাত্র নির্দিষ্ট মানগুলোকে বিঘ্নিত করে না; বরং এর ফলে উৎপাদন কার্যক্রমও ব্যাহত হয়। আমরা এলিপসোমেট্রি ওয়েফার প্রোব হিটার তৈরি করেছি, যাতে লাইনটি সর্বোচ্চ গতিতে চলাকালীনও তাপমাত্রা নির্ধারিত সীমার মধ্যে থাকে।
প্রযুক্তিগতভাবে কী গুরুত্বপূর্ণ?
এই হিটারটি শর্ট-ওয়েভ ইনফ্রারেড তরঙ্গ ব্যবহার করে; ফলে রেসপন্স দ্রুত হয়। ওয়েফারের বিভিন্ন অংশে তাপমাত্রা ±0.1°C এর মধ্যে থাকে; ফলে সফট বেক, হার্ড বেক এবং পোস্ট-বেকিং প্রক্রিয়াগুলো ঠিকমতো সম্পন্ন হয়। হিটারটি ক্লাস 1–100 এর ক্লিনরুমে ব্যবহারের জন্য উপযুক্ত; এছাড়া এটি কোনো ধরনের কণা উৎপন্ন করে না। হট জোনটি আলাদা করা থাকে; আর পৃষ্ঠগুলো দূষণ কমানোর জন্য প্যাসিভেটেড করা থাকে। তাপমাত্রা নিয়ন্ত্রণ করা যায়; ফলে প্রক্রিয়াটি দিনে-দিনে এবং লট-থেকে-লটে ধারাবাহিক থাকে।
বাস্তব ব্যবহারে এটি কেন কার্যকর?
এই হিটারটি এলিপসোমেট্রি ও মেট্রোলজি-ভিত্তিক প্রোব স্টেশনগুলোর জন্য অপরিহার্য। কারণ পরিমাপ ও শুকানোর সময় সাবস্ট্রেটটিকে নির্ধারিত তাপমাত্রায় রাখা প্রয়োজন। নির্দিষ্ট তাপমাত্রা রাখার ফলে লাইনের পুরুত্বের পরিবর্তন কমে যায়; ফিল্মের পুরুত্ব ধারাবাহিক থাকে। ফলে রিওয়ার্কিংয়ের পরিমাণ কমে যায়, সাইকেল টাইম স্থিতিশীল থাকে, আর তাপমাত্রার পরিবর্তনের কারণে বর্জ্যের পরিমাণও কমে যায়। আর কম শক্তি ব্যবহৃত হয়; কারণ দ্রুত নিয়ন্ত্রণের ফলে অপ্রয়োজনীয় পরিবর্তন ঘটে না।
কিছু গুরুত্বপূর্ণ বিষয়:
ইনস্টলেশনের সময় প্রোব স্টেশনের যান্ত্রিক কাঠামো এবং রেজিস্ট স্ট্যাক ও বেকিং প্রোফাইল অনুযায়ী সেটপয়েন্টগুলো সামঞ্জস্য করতে হয়। হিটারটি তার কাজ ঠিকমতো করবে; কিন্তু সামগ্রিক প্রক্রিয়াটি নির্ধারিত নিয়মাবলী অনুসরণ করার উপর নির্ভর করে। আর এমিটারটিরও একটি নির্দিষ্ট জীবনকাল রয়েছে; তাই এটিকে পরিকল্পিতভাবে রক্ষণাবেক্ষণ করা উচিত, যাতে হঠাৎ কোনো সমস্যা না দেখা দেয়।