Auf der Fertigungsfläche ist die Nachreinigungsphase der Punkt, an dem die Qualität der Wafer innerhalb weniger Minuten beeinträchtigt werden kann. Die Wafer kommen aus dem Reinigungsprozess mit einer mikroskopisch rauen Oberfläche sowie noch vorhandener Feuchtigkeit darauf. Wenn die anschließende Erhitzung nicht genau den Vorgaben entspricht, bleiben Lösungsmittel auf der Oberfläche zurück, die Haftung des Fotoresists wird beeinträchtigt und die Kontrolle der kritischen Abmessungen wird ungenauer. Wir haben daher einen Infrarotheizer entwickelt, um diese Unregelmäßigkeiten zu vermeiden.
Was technisch wichtig ist: Der Heizer nutzt Kurzwellen-Infrarotabsender in einem Quarzmodul – dadurch wird eine schnelle, oberflächenbasierte Erhitzung erreicht, ohne dass die Kammer übermäßig erhitzt wird. Die Temperaturgleichmäßigkeit auf der Waferoberfläche liegt zwischen 80°C und 250°C bei ±0,1°C – das deckt alle möglichen Erhitzungsverfahren ab. Die Reaktionszeit beträgt weniger als 3 Sekunden, sodass der Energieverbrauch gut kontrolliert wird.
Die Kompatibilität mit Reinräumen ist ebenfalls gewährleistet: Materialien, die den Anforderungen der Klassen 1–100 entsprechen, elektropolierte Oberflächen sowie ein Entlüftungssystem, das eine Partikelbildung im Betrieb verhindert. Die Steuerung erfolgt im Schließkreislauf – mit einem kalibrierten Pyrometer und einer Speicherung der Parameter, damit die Reproduzierbarkeit von Charge zu Charge gewährleistet bleibt.
Warum es in der Produktion funktioniert: Nach der Reinigung wird die Wafer in den Heizer gelegt. Der Heizer sorgt für die genau richtigen Erhitzungsbedingungen, wodurch der Prozess stabil bleibt. Die schnelle Erhitzung verkürzt die Bearbeitungszeit, ohne dass es zu Überschreitungen kommt. Der Energieverbrauch wird an die Last angepasst – dadurch ist der Verbrauch geringer als bei Herden mit heißen Platten.
Die Zuverlässigkeit des Systems ist für 24/7-Betrieb ausgelegt. Felddaten zeigen, dass die unplanmäßigen Stillstände unter 0,1% liegen – das bedeutet weniger Nacharbeiten, konstante Qualitätsstandards und eine zuverlässige Produktionsleistung.
Was Sie planen müssen: Bei der Installation muss die Größe der Entlüftungsrohre berücksichtigt werden, außerdem muss die Spannungsklasse der Ausrüstung überprüft werden. Der Heizer ist zwar kompakt, doch es müssen trotzdem ausreichende Abstände um das Emittersystem herum gelassen werden, damit die Luftzirkulation korrekt funktioniert und die Temperatur stabil bleibt.
Die Übertragung der Parameter ist für Standardanwendungen einfach. Bei individuellen Anpassungen kann jedoch eine kurze Einarbeitungszeit erforderlich sein, um das thermische Profil an Ihre Anforderungen anzupassen.