Wie man die Wafer sauber hält: Die Wahrheit über das Erwärmen
In einem Reinraum der Klasse 100 ist ein einziger Staubkorn nicht nur lästig – es bedeutet vielmehr das Ende der Qualität der Wafer. Die meisten Heizelemente sind in solchen Umgebungen problematisch: Sie geben bei jedem Aufheizen und Abkühlen Gase ab oder setzen Partikel frei.
Deshalb handeln wir anders. Wir verwenden hochreinen synthetischen Quarz-IR-Lampen, die speziell für den Halbleiterbereich entwickelt wurden.
Der Kampf gegen „Kondenswasser“
Glasmaterial enthält oft Spurenelemente. Wenn es heiß wird, verdampfen diese Verunreinigungen und landen direkt auf dem Substrat. Wahrscheinlich haben Sie bereits dieses lästige Kondenswasser in den ersten Betriebszyklen bemerkt.
Wir verhindern das, indem wir hochreine Quarzrohre sowie einen besonders gründlichen Reinigungsprozess verwenden. Nichts darf mit Oberflächenresten aus unserer Werkstatt herauskommen. Punkt.
Hitze, die wirklich effektiv wirkt
Diese Lampen nutzen Kurzwellen-IR-Strahlung – dadurch erreichen sie ihre Temperatur sehr schnell. Wir halten die Toleranzen eng, damit die Hitze gleichmäßig im gesamten Rohr verteilt wird. Doch ein Rat: Wenn Sie eine hohe Leistung benötigen, achten Sie unbedingt auf eine gute Kühlung des Gehäuses. Wenn Sie die Strahlungshitze nicht kontrollieren können, beginnen die Sensoren falsche Werte anzugeben – und dann ist es schwierig, weiterhin gute Ergebnisse zu erzielen.
Umgang mit den Hardwarekomponenten
Wir haben diese Komponenten so konstruiert, dass sie einfach ausgetauscht werden können – schließlich mag niemand Stillstand. Die Dichtungen sind gut, sodass keine Halogengase in die Umgebung entweichen können. Ein Tipp: Stellen Sie sicher, dass Ihre Anschlüsse der thermischen Belastung standhalten können. Sie wollen schließlich nicht feststellen müssen, dass Ihre Anschlüsse schmelzen.
Es handelt sich dabei nicht um Geräte, bei denen man einfach alles ignorieren kann. Man muss auf den Quarz achten – im Laufe der Zeit sammeln sich Prozessabfälle auf dem Rohr an. Dadurch ändert sich die Strahlungsleistung. Sie werden feststellen, dass der Energieverbrauch zunimmt, um die gleiche Oberflächentemperatur beizubehalten. Wenn das passiert, ist es an der Zeit, eine neue Lampe einzusetzen.