Una forma más inteligente de secar las obleas MEMS (y ahorrar energía)
Al secar las obleas de sensores MEMS, uno está, en esencia, caminando sobre una cuerda floja. Es necesario eliminar toda la humedad, pero si se actúa con demasiada intensidad, se dañan esas microestructuras delicadas.
¿La forma tradicional? Los hornos de convección. Pero aquí está el problema: gastan mucha energía solo para calentar el aire dentro de la cámara. Es un desperdicio.
Hemos encontrado una forma mejor: usar lámparas de infrarrojo de onda corta. En lugar de calentar el aire, estas lámparas focalizan su calor directamente sobre la oblea. Es un método eficiente y reduce significativamente el consumo de energía.
Cómo funciona realmente
Imagínese estar bajo el sol en un día frío. No espera a que el aire a su alrededor se caliente; siente el calor en su piel de inmediato. Eso es exactamente lo que hacen los fotones infrarrojos con la superficie de la oblea.
Dado que el calor llega de inmediato, el ciclo de secado se completa mucho más rápido. Cuando la máquina no tiene que funcionar horas seguidas para completar un lote, la factura de electricidad de su sala limpia, así como su huella de carbono, disminuyen.
Las desventajas (Porque nada es perfecto)
Para lograr esa evaporación rápida, utilizamos lámparas de cuarzo de alta potencia. Están diseñadas para manejar obleas de 200 mm o 300 mm sin problemas.
Pero hay un problema: ese alto flujo de calor exige que se tenga mucho cuidado con los controladores PID. Si los sensores superan ligeramente la temperatura deseada, las obleas pueden deformarse o las membranas MEMS resultar dañadas. Se necesita un poco de ajuste para lograr el equilibrio adecuado.
Haciendo realidad la “fábrica verde”
Reemplazar los sistemas de convección convencionales por lámparas de infrarrojo es una de las formas más sencillas de avanzar hacia la neutralidad de carbono en una planta industrial. Simplemente se detiene la pérdida de energía.
Un consejo antes de reemplazar los equipos antiguos: verifique su fuente de alimentación. Estas lámparas pueden generar un gran consumo de energía al encenderse. También asegúrese de que el aislamiento sea adecuado. No quiere que el calor afecte a otras partes sensibles de la máquina.