Deje de desperdiciar energía: La verdad sobre las lámparas infrarrojas recubiertas de oro
Si está procesando obleas semiconductores y está perdiendo energía, entonces tiene un problema de diseño. Punto.
Cuando se trabajan con lámparas infrarrojas sin ozono, el objetivo no es simplemente “calentar las cosas”. Lo que se busca es que esa energía impacte exactamente en la superficie de la oblea, sin afectar el entorno circundante.
¿Por qué utilizar oro?
La mayoría de las personas comienzan utilizando reflectores de aluminio. Pero el aluminio absorbe demasiada energía. Es como intentar rebotar una pelota contra una esponja.
Utilizamos oro porque es excelente para reflejar la luz infrarroja. En lugar de que el marco de la máquina absorba todo ese calor y se caliente excesivamente, la capa de oro devuelve esos fotones directamente hacia el objetivo. De este modo, se logra un enfoque más preciso y se concentra mucha más energía en cada milímetro cuadrado. Es simplemente más eficiente.
Manejo del calor
Dado que estas lámparas no emiten ozono, eliminan ese espectro de onda de 185 nm. Eso es genial, ya que no hay necesidad de preocuparse por la acumulación de Ozono en la cámara. El entorno permanece estable, lo cual facilita el trabajo.
Pero hay un problema. Cuando se concentra tanta energía en un espacio tan pequeño, la carga térmica se vuelve enorme. Si utiliza una lámpara de alta potencia, no puede permitirse descuidar los sistemas de enfriamiento. Si el flujo de aire no es adecuado, se producirán desviaciones térmicas. Esto hace que la curado de las obleas sea irregular, y de repente las obleas ya no se calientan de manera uniforme.
Las compensaciones que debe conocer
El oro es excelente para redirigir la energía, pero es muy blando. Si trata estos reflectores como si fueran de aluminio y los limpia con fuerza, los dañará. Utilice métodos de limpieza sin contacto. Un solo arañazo puede arruinar todo, dejando un punto frío en la oblea, lo cual causará problemas.
Un último consejo: conecte estas lámparas a un controlador PID de precisión. Dado que el oro hace que el flujo de calor sea mucho más eficaz, las obleas alcanzarán sus temperaturas objetivo mucho más rápido de lo habitual. Tendrá que ajustar las curvas de calentamiento. De lo contrario, corre el riesgo de sufrir shocks térmicos, y nadie quiere eso.