در خط تولید، مرحله پس از تمیزکاری همانجاست که میزان بازدهی محصول میتواند در عرض چند دقیقه کاهش یابد. ویفرها پس از تمیزکاری، دارای سطحی ناهموار و رطوبتی هستند؛ اگر دمای لازم برای پختن ویفرها کمی اشتباه باشد، حلالها همچنان در سطح ویفر باقی میمانند، چسبندگی رزیستورها نیز تغییر میکند و کنترل ابعاد محصول نیز دچار اختلال میشود. ما برای جلوگیری از این مشکلات، یک گرمکن مادون قرمز برای ویفرها طراحی کردهایم.
از نظر فنی، چه چیزهایی مهم هستند؟ این دستگاه از منابع تابش مادون قرمز کوتاهامواج در یک ماژول تقویتشده با کوارتز استفاده میکند؛ این سیستم به گونهای تنظیم شده که گرمایش سطحی سریع اتفاق بیفتد، بدون اینکه کل محفظه داغ شود. در دماهای ۸۰ تا ۲۵۰ درجه سانتیگراد، یکنواختی دما در حد ±۰.۱ درجه سانتیگراد حفظ میشود؛ این موضوع به کنترل بهتر فرآیند کمک میکند. زمان واکنش دستگاه کمتر از ۳ ثانیه است؛ بنابراین مصرف انرژی نیز کنترل شده است.
سازگاری این دستگاه با محیطهای تمیز نیز در نظر گرفته شده است؛ مواد استفاده شده مطابق با استانداردهای کلاس ۱ تا ۱۰۰ هستند، سطوح دستگاه نیز صاف هستند، و مسیر تخلیه گازها به گونهای طراحی شده که تولید ذرات در حالت پایدار صفر باشد. کنترل دستگاه به صورت بسته انجام میشود؛ از پیرومترهای دقیق و سیستم ذخیرهسازی دستورالعملها برای تضمین تکرارپذیری فرآیند استفاده میشود.
چرا این دستگاه در فرآیند تولید موفق عمل میکند؟ پس از تمیزکاری، ویفرها در دستگاه قرار میگیرند؛ گرمکن دستگاه دمای لازم برای پختن ویفرها را فراهم میکند، و فرآیند به خوبی انجام میشود. سرعت گرم شدن ویفرها باعث کاهش زمان فرآیند میشود؛ مصرف انرژی نیز بسته به بار وارد شده، کنترل شده است.
قابلیت اطمینان این دستگاه برای کار ۲۴/۷ طراحی شده است؛ دادههای موجود نشان میدهد که زمان توقف غیرمنتظره دستگاه در هزاران بار پختن، کمتر از ۰.۱٪ است. این موضوع به معنای کاهش کارهای تکراری، حفظ استانداردها، و داشتن بازدهی قابل اعتماد است.
چه چیزهایی را باید در نظر بگیرید؟ برای نصب این دستگاه، باید اندازه لولههای تخلیه گاز و ولتاژ مورد نیاز دستگاه را بررسی کنید. این گرمکن بسیار کوچک است، اما همچنان نیاز به فاصله مناسب در اطراف پنجرههای تابش دارد تا جریان هوا و دما کنترل شود.
انتقال دستورالعملها برای فرآیندهای استاندارد، کار سادهای است؛ اما در فرآیندهای سفارشی، ممکن است نیاز به زمان کوتاهی برای تنظیم پارامترهای حرارتی باشد.