Une façon plus intelligente de sécher les waffers MEMS (et d’économiser de l’énergie)
Lorsque l’on sèche des waffers de capteurs MEMS, on est en quelque sorte sur une corde raide : il faut enlever toute l’humidité présente sur les waffers, mais si l’on utilise une méthode trop agressive, on risque de détruire ces micro-structures délicates.
La méthode traditionnelle ? Les fours à convection. Mais voici le problème : ils consomment beaucoup d’énergie rien que pour chauffer l’air présent dans la chambre. C’est inefficace.
Nous avons trouvé une meilleure solution : utiliser des lampes à infrarouges à ondes courtes. Au lieu de chauffer l’air, ces lampes ciblent directement la surface du wafer. C’est plus efficace, et cela permet d’éviter beaucoup de gaspillage d’énergie.
Comment ça marche en réalité ?
Imaginez que vous sortiez au soleil par un jour froid. Vous n’attendez pas que l’air autour de vous se réchauffe ; vous ressentez immédiatement la chaleur sur votre peau. C’est exactement ce que font les photons infrarouges sur la surface du wafer. Comme la chaleur est appliquée immédiatement, le cycle de séchage est beaucoup plus rapide. Lorsque votre machine n’a plus besoin de fonctionner pendant des heures pour terminer un traitement, la facture d’électricité de votre salle propre – ainsi que votre empreinte carbone – diminuent.
Les inconvénients (Car rien n’est parfait)
Pour obtenir une évaporation rapide, nous utilisons des lampes en quartz à haute puissance. Elles sont suffisamment puissantes pour traiter des waffers de 200 mm ou 300 mm sans aucun problème.
Mais il y a un inconvénient : ce fort flux thermique exige une grande prudence lors de l’utilisation des contrôleurs PID. Si les capteurs dépassent légèrement la température souhaitée, cela peut entraîner des dommages aux waffers ou aux membranes MEMS. Il faut donc ajuster précisément les paramètres pour obtenir le résultat souhaité.
Comment créer une « usine verte » ?
Remplacer les systèmes de convection traditionnels par des systèmes à infrarouges est l’une des manières les plus simples d’améliorer la neutralité carbone dans une usine de fabrication. En effet, cela permet d’éviter les pertes d’énergie.
Avant de remplacer vos équipements anciens, assurez-vous que votre alimentation électrique peut supporter les pics de puissance générés par ces lampes. De plus, veillez à ce que l’isolation soit correcte, afin d’éviter que la chaleur ne se propage vers d’autres pièces sensibles de l’équipement.