בחדר הייצור, שלב לאחר הניקוי הוא השלב שבו האיכות של הוואפר עלולה להיפגע בתוך דקות ספורות. הוואפר יוצא מתהליך הניקוי עם מרקם שטחי לא אחיד ועם לחות שעדיין נמצאת על פני השטח. אם טמפרטורת החימום אינה תואמת את הערך הרצוי, החומרים המדוללים עלולים להישאר על פני השטח, וכך גם היכולת של החומרים האלו להידבק לוואפר עלולה להיפגע. בנוסף, השליטה בממדים הקריטיים של הוואפר עלולה להיפגע. לכן, פיתחנו גוף חימום באמצעות קרינת אינפרא-אדום שנועד לצמצם את השינויים האלו.
מה חשוב מבחינה טכנית? המכשיר משתמש בגופי פלטה של קרינת אינפרא-אדום באורך גל קצר, המותקנים במודולים המשופרים באמצעות קוורץ. כך ניתן לחמם את הוואפר במהירות, מבלי שהחדר יתחמם יותר מדי. האחידות בטמפרטורה על פני כל הוואפר נשמרת בטווח של ±0.1°C, בטמפרטורות של 80°C עד 250°C – כך שניתן לעשות חימום קל או חימום אינטנסיבי. זמן התגובה של המכשיר הוא פחות מ-3 שניות, כך שהשליטה בטמפרטורה נשמרת בצורה מדויקת.
המכשיר מותאם לשימוש בחדרי ניקיון מסוג Class 1–100: החומרים מתאימים לתנאים אלו, השטחים מלוטשים, ויש מערכת לפינוי אדי החומרים, כך שאין יצירה של חלקיקים במהלך התהליך. השליטה בתהליך היא אוטומטית, עם פירומטר מדויק ואפשרות לאחסון ההגדרות של התהליך, כך שניתן לשמור על עקביות בין מוצרים שונים.
למה המכשיר עובד טוב בייצור? לאחר הניקוי, הוואפר נכנס למכשיר, והחום שנוצר מאפשר את החימום הנכון של הוואפר. כך נשמרת האחידות בטמפרטורה. החימום המהיר מקצר את זמן התהליך, מבלי לגרום לעלייה יתרה בטמפרטורה. צריכת האנרגיה מותאמת לעומס, כך שהצריכה נמוכה יותר מאשר בשיטות אחרות.
המכשיר מיועד לפעולה 24/7; נתוני השימוש מראים שזמן הפסקות בלתי מתוכננות הוא פחות מ-0.1% באלפי סיבובי חימום. כך יש פחות צורך בעבודות תיקון, וניתן לשמור על עקביות באיכות המוצרים.
מה צריך לקחת בחשבון בעת ההתקנה? ההתקנה כוללת התאמת גודל צינורות הפינוי ווידוא המתח הנדרש בחדר הציוד. המכשיר קומפקטי, אך עדיין נדרש מרווח סביב חלון הפלטה כדי שהאוויר יוכל לזרום כראוי והטמפרטורה תישמר.
העברת ההגדרות של התהליך היא פשוטה עבור תהליכים סטנדרטיים. אך לעתים יש צורך בזמן קצר להתאמת ההגדרות לתהליך הספציפי שלכם.