अपने वेफरों को साफ रखना: हीटिंग संबंधी सच्चाइयाँ
क्लास 100 के क्लीनरूम में, थोड़ी सी भी धूल नुकसानदायक होती है… यह आपके वेफरों की गुणवत्ता के लिए घातक हो सकती है। ऐसे वातावरण में अधिकांश हीटिंग उपकरण नुकसानदायक ही होते हैं… क्योंकि जब भी ये गर्म/ठंडे होते हैं, तो उनसे गैसें निकलती हैं, जिससे धूल पैदा होती है।
इसीलिए हम अलग तरीके से काम करते हैं… हम ऐसी उच्च-शुद्धता वाली क्वार्ट्ज आईआर लैंपों का उपयोग करते हैं, जो विशेष रूप से सेमीकंडक्टर उद्योग के लिए ही बनाई गई हैं।
“धुंध” से बचने का तरीका
काँच में तो छोटी-मोटी धातुएँ ही मौजूद होती हैं… जब ये गर्म होती हैं, तो वे वाष्पीभूत हो जाती हैं, और आपके वेफरों पर जम जाती हैं… आपने शायद पहले कुछ चक्रों में ऐसी “धुंध” देखी होगी…
हम ऐसी स्थिति से बचने हेतु उच्च-शुद्धता वाली क्वार्ट्ज ट्यूबों का उपयोग करते हैं… और ऐसी सफाई प्रक्रियाओं का उपयोग करते हैं, जिससे कोई भी अवशेष न बचे…
वास्तव में प्रभावी हीटिंग
ये लैंप शॉर्ट-वेव आईआर का उपयोग करते हैं… इससे वे तेजी से गर्म हो जाते हैं… हम ऐसी व्यवस्था बनाते हैं कि पूरी ट्यूब में तापमान समान रहे… लेकिन एक सलाह – यदि आप उच्च-वॉटेज वाले उपकरणों का उपयोग कर रहे हैं, तो अपने चेसिस के शीतलन प्रणाली की अच्छी तरह जाँच करें… अन्यथा आपके सेंसरों का कैलिब्रेशन खराब हो जाएगा…
हार्डवेयर का ध्यान रखना
हमने इन लैंपों को ऐसा बनाया है कि इन्हें आसानी से बदला जा सके… क्योंकि कोई भी डाउनटाइम नहीं चाहता… सील भी बहुत मजबूत हैं… इसलिए आपको हैलोजन गैसों के लीक होने की चिंता करने की आवश्यकता नहीं है… बस एक सलाह – अपने कनेक्टरों की गुणवत्ता की अच्छी तरह जाँच करें… आप नहीं चाहेंगे कि आपके टर्मिनल पिघल जाएँ…
ये ऐसे उपकरण नहीं हैं, जिन्हें एक बार सेट करके भूल जाया जा सके… आपको क्वार्ट्ज ट्यूबों पर लगातार नज़र रखनी होगी… समय के साथ, प्रक्रिया के दौरान अवशेष ट्यूबों पर जम जाते हैं… ऐसी स्थिति में ऊर्जा की मात्रा बढ़ जाती है… ऐसी स्थिति में आपको नए लैंप लगाने होंगे…