Cara yang Lebih Cerdas untuk Mengeringkan Wafer MEMS (dan Menghemat Energi)
Saat mengeringkan wafer sensor MEMS, kita sebenarnya sedang berjalan di atas tali tipis. Kita perlu menghilangkan setiap tetes kelembapan yang ada, tetapi jika cara yang digunakan terlalu agresif, maka struktur mikroskopis yang sangat halus tersebut akan hancur.
Cara lama? Menggunakan oven konvektif. Namun masalahnya adalah oven ini membutuhkan banyak energi untuk memanaskan udara di dalam ruangan. Ini merupakan pemborosan energi.
Kami telah menemukan cara yang lebih baik, yaitu dengan menggunakan lampu inframerah berfrekuensi tinggi. Alih-alih memanaskan udara, lampu ini langsung memanaskan permukaan wafer. Cara ini efisien, dan dapat mengurangi pemborosan energi secara signifikan.
Bagaimana cara kerjanya?
Bayangkan saja saat Anda berada di bawah sinar matahari pada hari yang dingin. Anda tidak perlu menunggu udara di sekitar Anda menjadi hangat; panasnya langsung terasa di kulit Anda. Itulah yang terjadi pada permukaan wafer akibat radiasi inframerah. Karena panasnya langsung bersentuhan dengan permukaan wafer, proses pengeringan pun berlangsung lebih cepat. Dengan demikian, biaya listrik yang diperlukan untuk menjalankan mesin pun berkurang, begitu pula jejak karbon yang dihasilkan.
Kekurangan metode ini (Karena tak ada yang sempurna)
Untuk mendapatkan proses penguapan yang cepat, kita perlu menggunakan lampu kuarsa berdaya tinggi. Lampu ini mampu mengolah wafer berukuran 200 mm atau 300 mm tanpa kesulitan. Namun, ada satu masalah: suhu yang tinggi ini membutuhkan penyesuaian yang tepat pada kontroler PID. Jika suhu melebihi batas yang ditentukan, maka wafer akan rusak. Diperlukan penyesuaian yang tepat agar semuanya berjalan lancar.
Menciptakan “Pabrik Hijau” yang Sesungguhnya
Mengganti sistem konvektif biasa dengan sistem inframerah merupakan salah satu cara termudah untuk mencapai tujuan netralitas karbon di pabrik. Dengan demikian, pemborosan energi dapat dikurangi.
Sebelum mengganti peralatan lama, pastikan untuk memeriksa sumber daya listriknya. Lampu inframerah membutuhkan daya yang besar saat pertama kali dinyalakan. Pastikan juga bahwa pelindungnya berfungsi dengan baik, agar panas tidak merambat ke bagian-bagian sensitif lainnya dari alat tersebut.