MEMSウェーハをより効率的に乾燥させる方法（そしてエネルギーも節約できる）
MEMSセンサーウェーハを乾燥させるときは、まるで綱の上を歩くような状況です。水分を一切残さないようにしなければなりませんが、力を入れすぎると、その微細な構造が壊れてしまいます。
従来の方法は対流式のオーブンを使うことです。しかし問題は、チャンバ内の空気を加熱するために大量のエネルギーが消費される点です。これは無駄遣いです。
私たちは、短波赤外線ランプを利用することで、より良い方法を見つけました。このランプは空気を加熱するのではなく、直接ウェーハに熱を与えます。これにより、効率が向上し、無駄なエネルギーの消費も大幅に減少します。
実際の動作原理
寒い日に太陽の下に立つのと同じです。周囲の空気が温まるのを待つのではなく、肌でその熱を即座に感じます。赤外線光子もウェーハ表面に同じように作用します。
熱が即座に伝わるため、乾燥時間も大幅に短縮されます。機械が何時間も稼働しなくて済むため、クリーンルームの電気代や二酸化炭素排出量も減少します。
デメリット（完璧なものはないから）
迅速な蒸発を実現するために、高ワット数のクォーツランプを使用します。これらのランプは、200mmや300mmのウェーハを扱っても問題ありません。
しかし、高い熱流量のため、PIDコントローラーの設定には細心の注意が必要です。もしセンサーが目標温度を少しでも超えてしまうと、ウェーハが変形したり、MEMS膜が破損したりしてしまいます。正確な設定には少しの調整が必要です。
「グリーンファクトリー」を実現するために
抵抗式の対流方式を赤外線方式に置き換えることは、製造現場でカーボンニュートラルを実現するための最も簡単な方法の一つです。つまり、エネルギーの無駄遣いを防ぐのです。
古い装置を取り替える前に、電源の状態を確認してください。赤外線ランプは起動時に大きな電力を消費します。また、シールドがしっかりしているかも確認してください。熱が他の敏感な部品に広がってはいけません。