RTPシステム用ランプの最安価格

ウェハの焼成品質は、その背後にある熱場の良し悪しに左右されます。もしRTPがウェハ全体で±0.1℃の温度制御ができなければ、フォトレジストの状態が不安定になり、寸法管理も困難になります。結果として、修正作業によってコストがかさんでしまいます。このチャンバー内のランプは消耗品ではなく、プロセス用の機...