Di kilang pembuatan cip, perubahan suhu semasa proses pemanasan bahan fotoresist bukanlah sesuatu yang teoretikal sahaja. Ia akan menyebabkan variasi ketebalan garisan dan penurunan kualiti produk yang dihasilkan. Kaedah pemanasan konvensional tidak mampu mengatasi masalah ketidakkonsistenan suhu, terutamanya di bahagian tepi wafer. Lampu pengeluar cahaya inframerah dekat direka untuk mengatasi masalah ini; ia memberikan haba secara langsung ke permukaan photoresist, sehingga suhu di seluruh permukaan wafer menjadi seragam.
Apa yang penting dari segi teknikal
Kami telah menyesuaikan lampu pengeluar cahaya inframerah dekat agar dapat mengawal suhu photoresist dengan tepat. Kestabilan suhu yang dicapai ialah ±0.1°C, dan kawalan kadar pemanasan berlaku dalam masa beberapa saat sahaja. Lapisan kuarsa dan reka bentuk filamen yang digunakan membantu mengurangkan penghasilan zarah-zarah berbahaya, sekaligus memastikan bilangan zarah di bilik bersih kekal dalam lingkungan Class 1–100. Dengan cara ini, proses pemanasan dapat dilakukan dengan lebih efisien, dan hasilnya akan konsisten dari satu kitaran ke kitaran yang lain. Ketumpatan tenaga juga disesuaikan agar sesuai dengan keperluan proses litografi. Selain itu, reka bentuk lampu ini membolehkannya digunakan 24/7 tanpa masalah.
Mengapa ia berkesan dalam proses ini
Pemanasan menggunakan cahaya inframerah dekat berfungsi dengan efisien tanpa perlu sentuhan fizikal, sehingga mengurangkan kelewatan pemanasan dan masalah ketidakkonsistenan suhu di bahagian tepi wafer. Masa yang diperlukan untuk proses pemanasan berkurangan, begitu juga dengan penggunaan tenaga. Pendekatan ini juga memastikan permukaan yang penting tetap bersih semasa proses eksposur dan integrasi. Output spektrum yang stabil pula memastikan kurva sensitiviti photoresist tetap konsisten. Hasilnya ialah kawalan ketepatan yang lebih baik, serta pengurangan keperluan untuk melakukan proses pembaikan akibat kecacatan yang disebabkan oleh proses pemanasan.
Apa yang perlu diperhatikan
Lampu pengeluar cahaya inframerah dekat memerlukan penyesuaian optik yang tepat serta laluan cahaya yang bersih. Sebarang halangan atau ketidakselarasan akan menjejaskan kualiti hasilnya. Sistem ini perlu dikonfigurasikan dengan alat pengukur suhu yang tepat, dan lampu tersebut perlu beroperasi dalam julat suhu dan voltan yang ditetapkan. Proses persiapan lampu ini memang cepat, dan setelah diselaraskan dengan betul, prosesnya akan tetap konsisten, walaupun keadaan persekitaran berubah.