Stop met het verspillen van warmte bij het drogen van wafers
Tijdens het drogen van wafers moet de thermische situatie perfect zijn. Maar hier is het probleem: de meeste systemen laten warmte overal ontsnappen. Hierdoor wordt het frame van de machine verhit in plaats van de wafer zelf.
Dat is zonde. Niet alleen van energie, maar ook van geld.
Waar gaat de warmte naartoe?
Stel je eens voor dat je een lamp gebruikt zonder reflector. Meer dan de helft van de energie gaat dan gewoon naar achteren. Het is dus net alsof je een ruimteverwarmer hebt op de productielijn.
We lossen dit op door goudcoateerde of hoogzuiver aluminiumreflectoren te gebruiken. Zij weerkaatsen de energie terug naar waar ze thuishoren: op de wafer.
Het resultaat? Je krijgt dezelfde droogresultaten, maar je kunt de vermogenssterkte verminderen. Je energierekening daalt en je broeikasgasuitstoot neemt af. Het is een win-winsituatie.
Het gevaar van “koude plekken”
Het materiaal dat je gebruikt, is belangrijk. Als je short-wave IR gebruikt, heb je iets nodig dat niet beschadigt raakt wanneer het heet wordt.
Als een reflector vervormt of begint te oxideren, ontstaan er “koude plekken” op de wafer. De meeste mensen proberen dit op te lossen door de vermogenssterkte te verhogen. Doe dat niet.
Het verhogen van de vermogenssterkte heeft als gevolg dat de efficiëntie afneemt en de lampen sneller kapotgaan dan nodig is.
De balans
“Groener” gaan is geen magie; het vereist compromissen.
Omdat deze reflectoren de warmte zo intensief concentreren, wordt het rondom de lamp erg heet. Je kunt de koeling niet negeren. Als de luchtstroom zwak is, zullen de lampen kapotgaan. Je moet ervoor zorgen dat je koelsystemen voldoen aan de eisen.
De gemakkelijkste oplossing
Wij hebben deze reflectoren zo ontworpen dat ze direct kunnen worden vervangen. Je hoeft je hele productielijn niet uit elkaar te halen of de productiesnelheid te vertragen.
Je hoeft alleen maar de vorm van de reflector te veranderen. Op die manier gebruik je minder kilowattuur per cyclus. Voor iedereen die probeert zijn productielijn te ontcarboniseren zonder grote problemen, is dit waarschijnlijk de beste manier om te beginnen.