Op de productielijn is een temperatuurverschil van 0,3°C over het wafer al voldoende om de CD-tegenvallen te veroorzaken, de afwerking van het wafer te verstoren en de fotoreceptor buiten zijn thermische grenzen te duwen. Er zijn geen waarschuwingslichten. Het resultaat is slechts afval – en een dringend verzoek om hulp van het team dat zich bezighoudt met lithografie.
Wat echt belangrijk is
We hebben een systeem van gecombineerde verwarmingssystemen ontwikkeld, waarbij elke thermische zone apart kan worden geregeld. Elke zone wordt bestuurd door snelreagerende NIR-emitters met een kwartsgestabiliseerd profiel. Hierdoor blijft de temperatuur binnen een bereik van 150–300°C, met een precisie van ±0,1°C per wafer.
De verwarmingsblokken zijn ontworpen voor gebruik in zuiverruimtes van klasse 1–100: ze maken gebruik van materialen die weinig gassen afgeven, er zijn geen zichtbare lijmresten, en het oppervlak is zo behandeld dat er nauwelijks deeltjes aanwezig zijn. De stroom wordt via geïsoleerde kabels geleid, zodat er geen elektromagnetische storingen optreden. Het besturingssysteem slaat alle parameters op, zodat er geen sprake is van gokken – alles wordt nauwkeurig geregistreerd.
Waarom dit werkt bij het verwerken van fotoreceptoren
Bij zowel zachte als harde verhitting houdt het gecombineerde verwarmingssysteem het hele wafer binnen de vereiste parameters. Dit vermindert de variaties in de reflectie van het wafer en helpt bij het voorkomen van problemen aan de randen van het wafer. Hierdoor ontstaan meer consistente resultaten, minder herwerkingen en een nauwkeuriger procesproces – zonder dat er iets hoeft te worden aangepast aan de instellingen van het proces.
Het energieverbruik daalt, omdat alleen de actieve zones worden verwarmd. Ook de beschikbaarheid van het apparaat verbetert: het systeem kan hoge cyclustarieven aan zonder dat er thermische stress optreedt. We hebben apparaten die al meer dan 5.000 uur draaien, met minder dan 5% verschil in prestaties.
Wat je moet plannen
Voor het gebruik van een gecombineerd verwarmingssysteem heeft je een schone mechanische interface en stabiele toevoer van gas en stroom nodig. Pas de afmetingen van de componenten aan op je bakplaat, controleer je gas- en stroomverbruik en plan een kort testproces in om de instellingen te kalibreren.
Er is wel wat meer tijd nodig voor de configuratie. Maar dit is de prijs die je moet betalen om een proces te kunnen gebruiken dat je kunt vertrouwen, shift na shift.