Na linii produkcyjnej to właśnie etap po oczyszczeniu może sprawić, że efektywność procesu spadnie w ciągu kilku minut. Płyta krzemowa po procesie czyszczenia ma na swojej powierzchni mikrorywne i wilgoć, które nadal tam pozostają. Jeśli temperatura podczas dalszej obróbki będzie choćby o jeden stopień inna, rozpuszczalniki będą nadal obecne na powierzchni, a przyczepność fotorezystu będzie się zmieniać. W takiej sytuacji kontrola wymiarów staje się trudna. Stworzyliśmy specjalny grzałkę podczerwieni do używania po oczyszczeniu płyty krzemowej, aby wyeliminować te problemy.
Co jest istotne z technicznego punktu widzenia? Urządzenie wykorzystuje emitory podczerwone krótkich fal w module opartym na kwarcu. Dzięki temu uzyskuje się szybkie nagrzewanie powierzchni bez konieczności nagrzewania całej komory. Jednorodność temperatury na całej powierzchni płyty wynosi ±0,1°C w zakresie od 80°C do 250°C – co pokrywa różne procedury obróbki. Czas reakcji urządzenia wynosi mniej niż 3 sekundy, więc zużycie energii jest minimalne.
Urządzenie jest przystosowane do pracy w środowisku klasy 1–100: materiały spełniające te normy, powierzchnie elektropolerowane oraz system odprowadzania gazów zapewniają brak tworzenia się cząstek podczas normalnej pracy. Kontrola procesu odbywa się w trybie zamkniętym, dzięki zkalibrowanemu pyrometrowi i funkcji przechowywania danych, co zapewnia spójność wyników pomiędzy poszczególnymi partiami produktów.
Dlaczego urządzenie sprawdza się w produkcji? Po oczyszczeniu płytkę krzemową umieszcza się w urządzeniu, a grzałka dostarcza dokładną temperaturę potrzebną do dalszej obróbki. Szybki proces nagrzewania skraca czas realizacji procesu bez konieczności przekroczenia ustalonych parametrów. Zużycie energii jest dostosowane do obciążenia, więc jest ono mniejsze niż w przypadku tradycyjnych metod obróbki.
Urządzenie jest projektowane do pracy 24/7; dane z praktyki pokazują, że czas przerw nieplanowych wynosi mniej niż 0,1% w ciągu tysięcy cykli obróbki. To oznacza mniej konieczności ponownej obróbki, stałe zachowanie parametrów produktu oraz wysoką wydajność.
Co należy uwzględnić podczas planowania? Instalacja polega na dostosowaniu rozmiaru kanału odprowadzania gazów oraz sprawdzeniu napięcia w obudowie urządzenia. Grzałka jest kompaktowa, ale nadal potrzeba odpowiednio dużo miejsca wokół okna emitora, aby zapewnić prawidłowy przepływ powietrza i stabilną temperaturę.
Przenoszenie informacji dotyczących parametrów obróbki jest proste w przypadku standardowych procedur. W przypadku specjalnych konfiguracji może być konieczny krótki czas kalibracji, aby dostosować profil termiczny do specyfiki urządzenia i procedur czyszczenia.