การรับประกันว่าอุปกรณ์สำหรับการผลิตเวเฟอร์จะไม่เสียหายหรือทำงานผิดพลาด
เมื่อคุณทำงานกับอุปกรณ์ที่มีความแม่นยำสูง โอกาสในการเกิดข้อผิดพลาดก็มีมาก แค่มีการรั่วไหลของกระแสไฟฟ้าเพียงเล็กน้อยก็เพียงพอที่จะทำให้ชิ้นส่วนซิลิคอนทั้งหมดเสียหายได้
นั่นคือเหตุผลว่าทำไมเราถึงไม่ทำการตรวจสอบเฉพาะตัวอย่างเท่านั้น เราจะไม่เลือกทดสอบเพียงไม่กี่ชิ้นแล้วหวังว่าจะไม่มีปัญหา อุปกรณ์ทุกชิ้นที่ออกจากโรงงานของเราจะต้องผ่านการทดสอบแรงดันไฟฟ้าสูง และการทดสอบค่าความต้านทานไฟฟ้า ไม่มีข้อยกเว้นเลย
การทดสอบเพื่อหาจุดอ่อนของอุปกรณ์
โดยปกติแล้ว การรั่วไหลมักเกิดจากรอยแตกขนาดเล็กในวัสดุควอตซ์ หรือจากการที่ซีลไม่สะอาดพอ
เพื่อหาจุดอ่อนเหล่านี้ เราจึงทำการทดสอบอุปกรณ์ด้วยแรงดันไฟฟ้าสูงมาก ซึ่งสูงกว่าแรงดันที่ใช้ในการผลิตจริงมาก วัตถุประสงค์คือเพื่อให้จุดอ่อนเหล่านั้นปรากฏขึ้นมาตั้งแต่ในขั้นตอนการทดสอบ แทนที่จะเกิดข้อผิดพลาดในอุปกรณ์จริง
หากมีการรั่วไหลของกระแสไฟฟ้ามากเกินไป เราก็จะทิ้งอุปกรณ์นั้นทันที ง่ายๆ แค่นั้นเอง
การตรวจสอบเพื่อความปลอดภัย
แม้ว่าการทดสอบด้วยแรงดันไฟฟ้าสูงจะช่วยหาจุดรั่วไหลได้ แต่การทดสอบค่าความต้านทานไฟฟ้าก็ช่วยบอกถึงสภาพโดยรวมของวัสดุได้เช่นกัน
เราจะตรวจสอบค่า Megohm (MΩ) ระหว่างองค์ประกอบที่มีไฟฟ้าไหลผ่านกับเคสที่เชื่อมต่อกับพื้นดิน แม้ว่าจะเป็นขั้นตอนที่น่าเบื่อ แต่ก็เป็นสิ่งสำคัญที่ช่วยป้องกันไม่ให้เกิดปัญหาต่างๆ นอกจากนี้ ยังช่วยป้องกันไม่ให้มีสัญญาณรบกวนทางไฟฟ้าเข้าไปในสภาพแวดล้อมของเวเฟอร์ ซึ่งมีความไวอยู่แล้ว
สิ่งที่ควรระวังในโลกแห่งความเป็นจริง
ต้องยอมรับว่า ไม่มีวัสดุใดที่จะมีความต้านทานไฟฟ้าได้ตลอดไป
อุปกรณ์ของคุณต้องเผชิญกับการเปลี่ยนแปลงอุณหภูมิอยู่ตลอดเวลา ซึ่งจะทำให้ซีลเสื่อมสภาพไปเรื่อยๆ แม้ว่าการทดสอบของเราจะรับประกันว่าทุกอย่างจะสมบูรณ์แบบในวันแรก แต่คุณก็ยังต้องคอยตรวจสอบการรั่วไหลของกระแสไฟฟ้าอย่างต่อเนื่อง
เคล็ดลับจากโรงงาน
หากคุณใช้อุปกรณ์ที่มีกำลังไฟฟ้าสูง ตัวเชื่อมต่อของคุณก็จะต้องรับแรงกดดันมากขึ้นด้วย ตรวจสอบให้แน่ใจว่าสายไฟของคุณสามารถรับแรงความร้อนสูงได้ มิฉะนั้น ฉนวนกันไฟของสายไฟก็อาจละลายได้
และหากคุณใช้แรงดันไฟฟ้าใกล้ถึงขีดจำกัดสูงสุด ก็ควรตรวจสอบระบบระบายความร้อนให้ดี หากฉนวนกันความร้อนเริ่มเสื่อมสภาพ ก็อาจเกิดปัญหาได้