ในห้องผลิต การเปลี่ยนแปลงของอุณหภูมิระหว่างกระบวนการอบฟอโตเรซิสต์นั้นไม่ใช่เรื่องที่เกิดขึ้นเพียงในทางทฤษฎีเท่านั้น แต่มันส่งผลให้เกิดความแปรปรวนของความกว้างของเส้นที่ถูกสร้างขึ้น และทำให้อัตราการผลิตลดลง อุปกรณ์อบแบบดั้งเดิมไม่สามารถควบคุมอุณหภูมิได้อย่างมีประสิทธิภาพ และไม่สามารถแก้ไขปัญหาความไม่สม่ำเสมอของอุณหภูมิในบริเวณขอบแผ่นวีเวอร์ได้ ดังนั้น หลอดกำเนิดแสงแบบ NIR จึงถูกออกแบบมาเพื่อแก้ปัญหานี้ โดยการส่งความร้อนไปยังฟอโตเรซิสต์โดยตรง ทำให้อุณหภูมิทั่วทั้งแผ่นวีเวอร์สม่ำเสมอกัน
สิ่งที่สำคัญทางเทคนิค เราได้ปรับแต่งหลอดกำเนิดแสงแบบ NIR ให้สามารถควบคุมความยาวคลื่นได้อย่างแม่นยำ ทำให้อุณหภูมิสม่ำเสมอกันทั่วทั้งแผ่นวีเวอร์ โดยมีความแปรปรวนไม่เกิน ±0.1°C นอกจากนี้ ยังสามารถควบคุมอัตราการเพิ่มของอุณหภูมิได้อย่างรวดเร็ว ภายในเวลาไม่กี่วินาที ส่วนโครงสร้างของหลอดกำเนิดแสงก็ช่วยลดการเกิดอนุภาคและการปล่อยก๊าซออกมา ทำให้จำนวนอนุภาคในห้องผลิตอยู่ในระดับ Class 1–100 ในทางปฏิบัติ นั่นหมายความว่ากระบวนการอบจะมีความสม่ำเสมอ และการระเหยของตัวทำละลายก็สามารถคาดการณ์ได้ นอกจากนี้ ความหนาแน่นของพลังงานก็ถูกปรับให้เหมาะสมกับอัตราการผลิต และหลอดกำเนิดแสงก็สามารถใช้งานได้ตลอด 24 ชั่วโมง
เหตุผลที่วิธีนี้ได้ผลในกระบวนการนี้ การใช้แสงแบบ NIR ช่วยให้ความร้อนถูกส่งไปยังฟอโตเรซิสต์และวัสดุหลักได้อย่างมีประสิทธิภาพ โดยไม่ต้องมีการสัมผัสกัน ทำให้เกิดความล่าช้าในการถ่ายโอนความร้อนน้อยลง และไม่มีปัญหาเรื่องความไม่สม่ำเสมอของอุณหภูมิที่ขอบแผ่นวีเวอร์ นอกจากนี้ ยังช่วยให้เวลาในการอบลดลง และปริมาณพลังงานที่ใช้กับแต่ละแผ่นวีเวอร์ก็ลดลงด้วย ทำให้ไม่ต้องใช้เวลามากในการบำรุงรักษา นอกจากนี้ วิธีนี้ยังช่วยให้พื้นผิวที่สำคัญสะอาดอยู่ตลอดเวลา และยังช่วยให้ความไวของฟอโตเรซิสต์สม่ำเสมออีกด้วย ผลลัพธ์ที่ได้คือการควบคุมความหนาของชั้นฟอโตเรซิสต์ได้อย่างแม่นยำ และลดปัญหาที่เกิดจากข้อบกพร่องที่เกิดจากการอบได้
สิ่งที่จำเป็นต้องระวัง หลอดกำเนิดแสงแบบ NIR ต้องการการปรับแต่งทาง광학อย่างแม่นยำ และต้องมีเส้นทางการส่งแสงที่ชัดเจน หากมีสิ่งกีดขวางหรือความไม่สม่ำเสมอเกิดขึ้น ก็จะส่งผลต่อประสิทธิภาพของหลอดกำเนิดแสง ดังนั้น ระบบจึงต้องมีเครื่องวัดอุณหภูมิที่ได้รับการปรับแต่งมาอย่างดี เพื่อให้สามารถควบคุมอุณหภูมิได้อย่างเหมาะสม นอกจากนี้ หลอดกำเนิดแสงก็ต้องอยู่ในช่วงอุณหภูมิและแรงดันที่กำหนดไว้ การตั้งค่าระบบนั้นทำได้อย่างรวดเร็ว และเมื่อตั้งค่าเสร็จแล้ว กระบวนการก็จะมีความสม่ำเสมอ และไม่มีการเปลี่ยนแปลงเมื่อสภาพแวดล้อมเปลี่ยนแปลงไป