Wafer üretiminde, litografi işleminden önceki kurutma adımı, verimliliği belirleyen önemli bir faktördür. Fotoresist kalıntıları, su izleri, kenar bölgesindeki sorunlar gibi sorunların çoğu, plakanın sıcaklığındaki değişikliklerden, yavaş sıcaklık ayarlamalarından veya cihazdan kaynaklanan parçacıklardan kaynaklanmaktadır. Bu tür sorunları ortadan kaldırmak için Lab-on-a-Chip Kurutma Isıtıcısı geliştirdik.
Önemli olan detaylar
Bu cihaz, kuvars destekli termal tasarımla donatılmış kısa dalga infraruj elemanlarına dayanır; böylece aktif alanın her yerinde ±0,1°C’lik bir sıcaklık homojenliği sağlanır. Parti başına sıcaklık tekrarlanabilirliği ise ±0,2°C civarındadır. Bu da yumuşak ve sert kurutma işlemlerinin tutarlı olmasını sağlar – ki bu da kritik fotoresist işlemleri için gereklidir.
Düşük gaz salınımı olan malzemeler, kapalı bağlantı noktaları ve çalışma sırasında parçacık sayısını sabit tutan bir yapı sayesinde, bu cihaz Temiz Oda Sınıfı 1–100 ile uyumludur. Pilot hatlarımızda bu ısıtıcı 24/7 çalışır ve planlanmayan arızalar olmaz. Ayrıca enerji tüketimi, Lab-on-a-Chip yüzeylerinin termal ihtiyaçlarına göre ayarlanmıştır.
Neden üretim süreçlerine uygundur?
Lab-on-a-Chip üretiminde kurutma süreci oldukça hassastır: hızlı dehidrasyon, sıkı sıcaklık kontrolü ve kirlenmeye neden olmayan bir işlem gereklidir. Bu cihaz, eski ısıtıcıları ve IR sistemlerini, uluslararası yarı iletken ekipman standartlarına uygun bir çözümle değiştirir.
Bunun sonucunda daha iyi hassasiyet kontrolü, daha az yeniden işleme gereksinimi ve öngörülebilir işlem süreleri elde edilir. Sıcaklık dalgalanmaları ortadan kalktığında, işlem süreçleri daha verimli hale gelir ve yetersiz veya aşırı kurutmadan kaynaklanan sorunlar azalır.
Dikkat edilmesi gereken pratik detaylar
Kurulum için özel bir 24 VDC güç kaynağı ve temiz bir topraklama sistemi gereklidir. Eğer yakınında EMI’ye duyarlı cihazlar varsa, izolasyonu önceden planlayın. Isıtıcı hızla istenen sıcaklığa ulaşır; ancak sıcaklık kapasitesi yüzeye bağlı olarak değişir. Bu yüzden belirli bir çip yapısına göre rampa hızını doğrulayın.
Entegrasyon için standart arayüzler sunuyoruz; ancak standart dışı taşıyıcılar genellikle özel donanımlar gerektirir. Doğru şekilde kurulum yapılırsa, tekrarlanabilir performans elde edilir ve ileride verimlilikle ilgili sorunlar yaşanmaz.