
Waferlerin kurutulmasında enerji israfını durdurun
Waferleri kuruturken termal profilin mükemmel olması gerekiyor. Ancak sorun şu ki: Çoğu sistem ısıyı her yöne dağıtıyor. Bu da ısının wafer yerine makinenin şasisini ısıtmasına neden oluyor. Bu hem enerji açısından hem de para açısından bir israf demektir.
Isının aslında nereye gittiği
Reflektörü olmayan bir kurutma lambasını düşünün. Bu lambanın ürettiği enerjinin yarısından fazlası arka taraftan dışarı atılıyor. Bu da adeta fabrika zemininde bir ısıtıcı gibi işlev görüyor.
Bunu çözmek için altın kaplamalı veya yüksek saflıkta alüminyum reflektörler kullanıyoruz. Bunlar enerjiyi tekrar doğru yere, yani waferin üzerine yönlendiriyor. Sonuç olarak aynı sonucu elde ediyorsunuz, ancak güç tüketimini azaltabiliyorsunuz. Böylece elektrik faturasınız düşer ve karbon ayak iziniz de azalır. Bu hem kazançlı hem de mantıklı bir çözümdür.
“Soğuk noktaların” tehlikesi
Kullandığınız malzeme önemlidir. Eğer kısa dalga boylu IR ışığı kullanıyorsanız, sıcaklık arttığında zarar görmeyecek bir malzemeye ihtiyacınız vardır. Eğer reflektör bükülür veya oksitlenirse, wafer üzerinde “soğuk noktalar” oluşur. Çoğu kişi bunu telafi etmek için gücü artırır. Bunu yapmayın. Gücü aşırı artırmak verimliliğinizi düşürür ve lambaların ömrünü kısaltır.
Tecditler
“Yeşil” bir çözüm bulmak sihir değildir; bazı fedakarlıklar gerektirir. Bu reflektörler ısıyı o kadar yoğun bir şekilde yoğunlaştırır ki, lambanın etrafındaki alanlar da ısınır. Soğutmayı görmezden gelemeyiz. Eğer hava akışı yetersizse, lambalar zarar görebilir. Bu yüzden soğutma sistemlerinin işini layıkıyla yapmasını sağlamalısınız.
En kolay çözüm
Biz bunları yerine takılabilir şekilde tasarladık. Tüm üretim sürecinizi durdurmanıza veya üretim hızınızı yavaşlatmanıza gerek yok. Sadece reflektörün yapısını değiştirin; böylece her döngüde daha az kilovat-saat enerji kullanmış olursunuz. Temiz odaların karbonsuzlaştırılması konusunda sorun yaşamak istemeyenler için bu muhtemelen en pratik çözümdür.