На поверхні пластини теплові коливання під час обробки фотополімеру не є теоретичним явищем. Вони проявляються у зміні ширини ліній та зниженні якості готової продукції. Традиційні нагрівальні пристрої не можуть ефективно контролювати температурний профіль, особливо на краях пластини. Для усунення цього проблеми було створено проміньовий джерело близького інфрачервоного світла – воно забезпечує пряме нагрівання фотополімеру, що дозволяє зрівняти температурний профіль по всій площі пластини.
Що є важливим з технічної точки зору
Ми налаштували проміньове джерело близького інфрачервоного світла так, щоб воно забезпечувало контроль температури фотополімеру за допомогою регулювання довжини хвилі та забезпечувало високу однорідність нагріву. На всій поверхні пластини досягається стабільність температури ±0,1°C, а контроль температурного профілю відбувається за допомогою системи, яка реагує менш ніж за секунду. Кварцовий корпус та спеціальна конструкція нитки зменшують кількість частинок та газів, що виділяються, тож кількість частинок у чистій кімнаті залишається в межах класу 1–100. Насправді це означає можливість використання процедур нагріву різної інтенсивності, що дозволяє отримувати однакові результати при обробці кожної партії продукції. Інтенсивність напруги налаштовується так, щоб вона відповідала потребам процесу літографії; корпус лампи підходить для постійної роботи 24/7.
Чому цей метод ефективний у цьому процесі
Нагрівання за допомогою близького інфрачервоного світла відбувається ефективно без контакту з фотополімером та підложкою, тож зменшується температурний затримку, а також уникається проблема зниження температури на краях пластини. Час обробки скорочується, енергоспоживання на одну пластину зменшується, а час, необхідний на технічне обслуговування, також зменшується. Метод зворотного зв’язку забезпечує чистоту критичних поверхонь під час обробки, а стабільний спектральний вихід забезпечує однакові характеристики фотополімеру. Це дозволяє контролювати параметри глибини прорізу та зменшувати кількість необхідних корекцій через дефекти, що виникають під час обробки.
Що потрібно враховувати
Проміньові джерела близького інфрачервоного світла вимагають точного оптичного вирівнювання та чистого шляху для проходження світла – будь-які перешкоди заважають ефективному нагріванню. Систему потрібно налаштувати за допомогою каліброваного пірометра чи системи зворотного зв’язку, яка відповідає умовам процесу. Корпус лампи також повинен знаходитися в заданих межах температури та напруги. Налаштування відбувається швидко, а після цього процес залишається стабільним та прогнозованим, незалежно від змін умов навколишнього середовища.