На заводі на етапі післячищувальних процедур якість продукції може значно погіршитися протягом кількох хвилин. Після чищення пластинка все ще має незначну поверхневу шорсткість та вологу на своїй поверхні. Якщо температура під час подальшої обробки буде навіть на один градус не такою, як потрібно, розчинники залишаться на поверхні, а зчеплення фоторезисту погіршиться. Ми створили інфрачервоний нагрівач для післячищувальних процедур, щоб усунути ці проблеми.
Що є важливим з технічної точки зору
У пристрої використовуються короткохвильові інфрачервоні випромінювачі в модулі з кварцом. Це дозволяє швидко нагріти поверхню пластинки, не даючи при цьому надмірного нагріву всього приміщення. Рівномірність температури по всій площі пластинки становить ±0,1°C в діапазоні від 80°C до 250°C – це дозволяє використовувати різні режими нагріву. Час реакції становить менше 3 секунд, тож температурний режим залишається стабільним.
Пристрій сумісний з умовами чистих приміщень: матеріали, які відповідають стандартам класу 1–100, електрополіровані поверхні, а також система відведення повітря, яка запобігає утворенню частинок під час роботи. Контроль здійснюється в закритому циклі, з використанням каліброваного пірометра та системи зберігання параметрів процесу, що забезпечує їх послідовність у різних партіях продукції.
Чому пристрій ефективний у виробництві
Після чищення пластинку поміщають у пристрій, який забезпечує саме той режим нагріву, який необхідний для подальшої обробки. Швидке нагрівання дозволяє скоротити час процесу без перевищення температури. Споживання енергії калібрується відповідно до навантаження, тож воно є меншим, ніж при використанні звичайних нагрівачів.
Надійність пристрою дозволяє йому працювати 24/7; дані з поля вказують на те, що кількість непланових зупинок становить менше 0,1% протягом тисяч циклів нагріву. Це означає менше необхідності в переробці продукції, стабільне дотримання стандартів якості та можливість передбачуваного обсягу виробництва.
Що потрібно врахувати під час встановлення
Під час встановлення необхідно врахувати розмір вентиляційних каналів та клас напруги в приміщенні. Пристрій є компактним, але все одно потрібно забезпечити достатній простір навколо випромінювача для правильного потоку повітря та стабільної температури.
Передача параметрів процесу є простою для стандартних схем. Для індивідуальних рішень може знадобитися трохи часу на налаштування теплового профілю відповідно до особливостей вашого обладнання та процесу чищення.