MEMS ویفروں کو خشک کرنے کا ایک بہتر طریقہ (اور توانائی کی بچت)
جب MEMS سینسر ویفروں کو خشک کیا جاتا ہے، تو دراصل یہ ایک پیچیدہ عمل ہے۔ ضروری ہے کہ ویفروں سے تمام نمی ختم کردی جائے، لیکن اگر زیادہ زور سے خشک کیا جائے، تو ان نازک مائکرو-ڈھانچوں کو نقصان پہنچ سکتا ہے۔
پرانے طریقے میں کنوکشن اوونز استعمال کیے جاتے ہیں۔ لیکن اس طریقے میں بہت زیادہ توانائی خرچ ہوتی ہے، کیوں کہ پورے چیمبر کی ہوا کو گرم کرنے کے لئے بہت زیادہ توانائی درکار ہوتی ہے۔ یہ بہت غیرموثر طریقہ ہے۔
ہم نے شارٹ-ویو انفراریڈ لیمپوں کا استعمال کرکے ایک بہتر طریقہ دریافت کیا ہے۔ ان لیمپوں سے ہوا کو گرم کیے بغیر، براہ راست ویفروں پر حرارت پہنچائی جاتی ہے۔ یہ طریقہ بہت موثر ہے، اور بہت زیادہ توانائی کی بچت بھی ہوتی ہے۔
یہ کیسے کام کرتا ہے؟
اسے ایسے سمجھیں کہ سرد دن میں سورج کی روشنی میں کھڑے ہونا۔ آپ اپنے ارد گرد کی ہوا کے گرم ہونے کا انتظار نہیں کرتے؛ بلکہ فوراً ہی اپنی جلد پر حرارت محسوس کرتے ہیں۔ انفراریڈ فوٹون بھی ویفر کی سطح پر ایسا ہی کام کرتے ہیں۔
چوںکہ حرارت فوراً ہی پہنچتی ہے، اس لئے خشک کرنے کا عمل بہت تیزی سے مکمل ہو جاتا ہے۔ جب مشینیں گھنٹوں تک چلنے کی بجائے جلد ہی کام مکمل کر لیتی ہیں، تو کلین روم کے بجلی کے بل اور کاربن فوٹ پرنٹ میں کمی واقع ہوتی ہے۔
فوائد اور نقصانات
تیز رفتار خشک کرنے کے لئے ہم اعلیٰ واٹیج کے کوارٹز لیمپوں کا استعمال کرتے ہیں۔ یہ لیمپ 200 ملی میٹر یا 300 ملی میٹر کے ویفروں کو بغیر کسی مشکل کے خشک کر سکتے ہیں۔
لیکن ایک مسئلہ یہ ہے کہ اتنی زیادہ حرارت کی وجہ سے PID کنٹرولرز کا استعمال بہت احتیاط سے کرنا پڑتا ہے۔ اگر سینسرز کا درجہ حرارت ہدف سے تھوڑا بھی زیادہ ہو جائے، تو ویفروں کو نقصان پہنچ سکتا ہے۔ اس لئے اسے درست کرنے کے لئے تھوڑی ترتیبات کی ضرورت ہے۔
“گرین فیکٹری” کیسے تخلیق کی جائے؟
ریزسٹیو کنوکشن کے بجائے انفراریڈ لیمپوں کا استعمال، کاربن نیوٹرلٹی کے حصول کا ایک آسان طریقہ ہے۔ اس طریقے سے توانائی کا ضیاع روکا جاتا ہے۔
پرانے آلات کو ہٹانے سے پہلے ایک بات ضرور یاد رکھیں: اپنے پاور سپلائی کی جانچ کریں۔ انفراریڈ لیمپوں کو چالو کرتے وقت بہت زیادہ بجلی کی ضرورت ہوتی ہے۔ اس کے علاوہ، اپنے آلات کی حفاظت کے لئے مناسب اقدامات کریں، تاکہ حرارت دیگر حساس حصوں تک نہ پہنچ سکے۔