فیبرکی فلور پر، صفائی کے بعد کے مرحلے میں ہی مصنوعات کی کوالٹی چند منٹوں میںخراب ہو سکتی ہے۔ ویفر کو صاف کرنے کے بعد بھی اس کی سطح پر مائکرو-رفنس اور نمی باقی رہ جاتی ہے۔ اگر اس کے بعد ہونے والے عمل میں تھوڑی سی بھی غلطی ہو جائے، تو حل اب بھی وہاں موجود رہتا ہے، فوٹوریزسٹ کی چپکنے کی صلاحیت متاثر ہو جاتی ہے، اور اہم ابعاد کو کنٹرول کرنا مشکل ہو جاتا ہے۔ ہم نے صفائی کے بعد استعمال ہونے والے ویفر کے لئے انفراریڈ ہیٹر تیار کیا ہے، تاکہ اس قسم کی غلطیوں سے بچا جا سکے۔
تکنیکی لحاظ سے اہم باتیں
یہ ڈیوائس کوارٹز سے بنے ماڈیول میں شارٹ-ویو انفراریڈ ایمیٹرز کا استعمال کرتی ہے؛ اس کی وجہ سے سطح کو تیزی سے گرم کیا جا سکتا ہے، بغیر چیمبر کے اندر درجہ حرارت بڑھنے کے۔ ویفر کی سطح پر درجہ حرارت 80°C سے 250°C کے درمیان ±0.1°C کے اندر ہی رہتا ہے – یہ تمام قسم کے عملوں کے لئے مناسب ہے۔ ردِعمل کا وقت 3 سیکنڈ سے کم ہے، اس لئے حرارتی کنٹرول بہترین طریقے سے ہوتا ہے۔
کلین روم کے معیارات کے لحاظ سے
یہ ڈیوائس کلاس 1-100 کے معیارات کے مطابق ہے؛ اس کی سطحیں الیکٹروپولشڈ ہیں، اور اس میں ایسا سسٹم موجود ہے جو مستقل حالت میں ذرات کی پیداوار کو صفر پر رکھتا ہے۔ کنٹرول سسٹم بند لوپ پر مبنی ہے، اور اس میں پیرامیٹرز کو کیلیبریٹ کرنے کے لئے پائرومیٹر بھی موجود ہے، تاکہ ہر بار یکساں نتائج حاصل کئے جا سکیں۔
پیداواری عمل میں اس ڈیوائس کی اہمیت
صفائی کے بعد ویفر کو اس ڈیوائس میں رکھا جاتا ہے، پھر ہیٹر وہ درجہ حرارت پیدا کرتا ہے جو ریزسٹ سٹیک کے لئے ضروری ہے، اور اس طرح عمل تیزی سے مکمل ہو جاتا ہے۔ توانائی کی کھپت بھی کنٹرول میں رہتی ہے، اس لئے خرچ ہونے والی توانائی کم ہوتی ہے۔
قابل اعتمادی
یہ ڈیوائس 24/7 کام کرنے کے لئے ڈیزائن کی گئی ہے؛ فیلڈ ڈیٹا سے پتہ چلتا ہے کہ ہزاروں عملوں کے دوران بھی بندش کی شرح 0.1% سے کم ہے۔ اس کا مطلب یہ ہے کہ دوبارہ کام کرنے کی ضرورت کم ہے، اور مصنوعات کی کوالٹی مستقل رہتی ہے۔
منصوبہ بندی کے لئے ضروری باتیں
انسٹالیشن کے لئے ضروری ہے کہ ایگزاسٹ ڈکٹ کا سائز مناسب ہو، اور آلات کے لئے درکار وولٹیج کی سطح بھی مناسب ہو۔ ہیٹر چھوٹا ہے، لیکن ایمیٹر کے ارد گرد کافی جگہ ضروری ہے، تاکہ ہوا کا بہاؤ مناسب رہے اور درجہ حرارت مستحکم رہے۔
ریسیپی ٹرانسفر
معیاری ریسیپیوں کے لئے ریسیپی ٹرانسفر بہت آسان ہے۔ لیکن خصوصی صورتوں میں، تھرمل پروفائل کو ریزسٹ سٹیک اور کیمیکلز کے مطابق ڈھالنے کے لئے تھوڑا وقت درکار ہوتا ہے۔