Ngăn chặn những mảnh vỡ: Bảo vệ các wafer khỏi nguy cơ hư hại do đèn hồng ngoại bị hỏng
Hãy thành thật mà nói: việc đèn hồng ngoại bị nổ là một cơn ác mộng thực sự. Khi ống đèn bị nổ trong quá trình hoạt động với tải cao, bạn không chỉ phải đối mặt với tình trạng máy ngừng hoạt động, mà còn phải đối mặt với những mảnh thủy tinh và chất hóa học rơi xuống các wafer của mình. Đó là tình trạng hỗn loạn, tốn kém chi phí, và gây ra nhiều rắc rối mà ai cũng không muốn gặp phải.
Đó là lý do tại sao chúng tôi thiết kế các thiết bị sưởi trong phòng sạch dựa trên nguyên tắc “xử lý mọi tình huống xấu nhất”.
Biện pháp an toàn
Chúng tôi không chỉ tin tưởng vào khả năng chịu lực của ống thủy tinh, mà còn bọc toàn bộ thiết bị trong một lớp vỏ bảo vệ. Hãy coi đó như một polis bảo hiểm vậy. Nếu ống đèn bị nứt do tác động nhiệt hay vì lý do nào khác, lớp vỏ bảo vệ sẽ giúp giữ lại tất cả các mảnh vỡ. Như vậy, sẽ không có gì rơi xuống các wafer của bạn nữa. Ngoài ra, điều này còn giúp việc bảo trì trở nên dễ dàng hơn – bạn chỉ cần thay thế ống đèn bên trong mà không cần phải làm sạch toàn bộ buồng sạch.
Xử lý vấn đề nhiệt độ
Việc sử dụng đèn hồng ngoại với công suất cao sẽ gây ra những dao động nhiệt độ khắc nghiệt. Để tránh tình trạng ống đèn bị nứt, chúng tôi sử dụng thủy tinh nung chảy có độ tinh khiết cao, giúp chịu được sự giãn nở và co lại của vật liệu. Chúng tôi cũng kết nối các điện cực bằng hóa chất, để tránh tình trạng rò rỉ khí ở các vị trí kết nối.
Nhưng bí quyết thực sự nằm ở các bộ điều khiển PID. Chúng giúp kiểm soát nhiệt độ một cách chính xác. Nếu nhiệt độ giảm quá thấp, hệ thống sẽ ngay lập tức ngắt nguồn. Điều này xảy ra trước cả khi thủy tinh đạt đến điểm mềm của nó.
Những rủi ro cần lưu ý
Nhiệt độ cao rất tốt, nhưng nó cũng gây ra áp lực lớn lên các linh kiện. Nếu bạn sử dụng đèn với công suất tối đa, các đầu nối điện của bạn sẽ bị tổn thương nghiêm trọng. Bạn cần đảm bảo rằng các dây dẫn có thể chịu được dòng điện, nếu không các đầu nối sẽ bị nóng chảy. Chúng tôi sử dụng các dây dẫn chịu lực cao để chống lại các rung động do hoạt động công nghiệp gây ra. Nhưng bạn vẫn cần có kế hoạch bảo trì cẩn thận.
Hãy kiểm tra các vị trí kết nối mỗi 500 giờ một lần. Nếu các vị trí kết nối bị lỏng lẻo, bạn sẽ gặp phải tình trạng nhiệt độ cao ở một số vị trí, và đèn sẽ bị hỏng nhanh hơn dự kiến. Hãy giữ cho môi trường xung quanh sạch sẽ, và đảm bảo luồng không khí lưu thông tốt. Như vậy, các wafer của bạn sẽ được bảo vệ tốt hơn.