Trong quy trình sản xuất, bước làm sạch sau khi xử lý chính là lúc tỷ lệ thành công của quy trình có thể giảm mạnh trong vài phút. Wafer sau khi được rửa sạch vẫn còn tồn tại các vết nhám nhỏ trên bề mặt, cùng với hơi ẩm. Nếu nhiệt độ sấy không được kiểm soát chính xác, dung môi vẫn còn tồn tại trên bề mặt wafer, độ bám của chất phủ cũng bị ảnh hưởng, và việc kiểm soát kích thước các chi tiết trên wafer cũng trở nên khó khăn. Chúng tôi đã chế tạo máy sưởi bằng tia hồng ngoại để loại bỏ những yếu tố gây biến đổi này.
Những yếu tố quan trọng về mặt kỹ thuật Máy sử dụng các bộ phát tia hồng ngoại sóng ngắn trong một mô-đun được làm từ thạch anh; điều này giúp việc gia nhiệt diễn ra nhanh chóng mà không làm ảnh hưởng đến toàn bộ buồng xử lý. Độ đồng đều của nhiệt độ trên toàn bề mặt wafer được duy trì ở mức ±0,1°C trong khoảng nhiệt độ từ 80°C đến 250°C – đủ để thực hiện các quy trình sấy từ nhẹ đến mạnh. Thời gian phản ứng của máy chỉ dưới 3 giây, vì vậy việc kiểm soát nhiệt độ được thực hiện một cách chính xác.
Máy này cũng được thiết kế sao cho phù hợp với môi trường phòng sạch: vật liệu được sử dụng đáp ứng tiêu chuẩn Class 1–100, bề mặt được xử lý kỹ lưỡng, và hệ thống thông gió giúp loại bỏ hoàn toàn các hạt bụi trong quá trình hoạt động. Hệ thống kiểm soát nhiệt độ được thiết kế theo nguyên lý vòng khép kín, với máy đo nhiệt độ được hiệu chuẩn chính xác, giúp đảm bảo tính lặp lại của quy trình sản xuất.
Tại sao máy này lại hiệu quả trong sản xuất? Sau khi wafer được làm sạch, máy sẽ đưa nó vào điều kiện sấy phù hợp với yêu cầu của chất phủ trên wafer. Quá trình sấy diễn ra nhanh chóng mà không gây ra sai lệch nhiệt độ. Mức tiêu thụ năng lượng cũng được kiểm soát chính xác, vì vậy mức tiêu thụ năng lượng sẽ thấp hơn so với các phương pháp sấy thông thường.
Độ tin cậy của máy được đảm bảo qua việc vận hành 24/7; dữ liệu thực tế cho thấy thời gian ngưng hoạt động do lỗi kỹ thuật chỉ dưới 0,1% sau hàng nghìn lần sấy. Điều này giúp giảm số lần phải làm lại sản phẩm, đảm bảo chất lượng sản phẩm ổn định, và tăng năng suất sản xuất.
Những điều cần lưu ý khi lắp đặt Việc lắp đặt máy liên quan đến việc chọn kích thước ống thông gió phù hợp và kiểm tra mức điện áp trong buồng máy. Máy có kích thước nhỏ, nhưng vẫn cần có khoảng trống xung quanh cửa phát tia hồng ngoại để đảm bảo dòng khí lưu thông tốt và nhiệt độ ổn định.
Việc chuyển giao thông số quy trình sản xuất khá đơn giản đối với các quy trình tiêu chuẩn. Tuy nhiên, đối với các quy trình tùy chỉnh, có thể cần một khoảng thời gian để điều chỉnh các thông số nhiệt độ cho phù hợp với chất phủ và quy trình làm sạch.