
Cách hiệu quả hơn để sấy khô các tấm wafer MEMS (và tiết kiệm năng lượng)
Khi sấy khô các tấm wafer cảm biến MEMS, bạn đang phải cân bằng giữa việc loại bỏ hết độ ẩm và tránh làm hỏng các cấu trúc siêu nhỏ trên tấm wafer.
Phương pháp truyền thống là sử dụng lò sấy kiểu đối lưu. Nhưng vấn đề là phương pháp này tiêu tốn rất nhiều năng lượng chỉ để làm nóng không khí trong buồng sấy. Điều này rất lãng phí.
Chúng tôi đã tìm ra phương pháp tốt hơn, đó là sử dụng đèn hồng ngoại công suất cao. Thay vì làm nóng không khí, những chiếc đèn này tỏa nhiệt trực tiếp lên bề mặt tấm wafer. Phương pháp này hiệu quả hơn nhiều và giúp giảm lượng năng lượng lãng phí.
Cách thức hoạt động
Hãy tưởng tượng việc đứng dưới ánh nắng mặt trời vào ngày lạnh. Bạn không cần chờ không khí xung quanh ấm lên; bạn có thể cảm nhận được hơi nóng trên da ngay lập tức. Đó chính là cách mà sóng hồng ngoại tác động lên bề mặt tấm wafer. Nhờ vậy, quá trình sấy khô diễn ra nhanh hơn nhiều. Khi máy móc không phải hoạt động liên tục hàng giờ để hoàn thành một lô sản phẩm, chi phí điện năng và lượng khí thải carbon cũng giảm đi.
Những hạn chế
Để đạt được hiệu suất sấy khô nhanh như vậy, chúng ta cần sử dụng đèn quartz công suất cao. Nhưng đổi lại, bạn cần phải cẩn thận với các bộ điều khiển PID. Nếu nhiệt độ vượt quá mức cho phép dù chỉ một chút, tấm wafer có thể bị hư hỏng. Cần có sự điều chỉnh kỹ lưỡng để đạt được kết quả tốt nhất.
Tạo ra “nhà máy xanh” thực sự
Việc thay thế phương pháp sấy truyền thống bằng phương pháp sấy bằng hồng ngoại là một trong những cách đơn giản nhất để giảm lượng khí thải carbon trong quy trình sản xuất. Bạn chỉ cần ngăn chặn sự lãng phí năng lượng thôi.
Trước khi thay thế thiết bị cũ, hãy kiểm tra nguồn điện của bạn. Những bộ đèn hồng ngoại này có thể tiêu thụ một lượng điện lớn ngay khi được bật lên. Ngoài ra, hãy đảm bảo rằng hệ thống cách nhiệt của bạn được vận hành tốt. Bạn không muốn nhiệt lượng lan sang các bộ phận nhạy cảm khác trong máy móc của mình.