为何我们使用镀金反射器进行真空加热
如果你曾经在真空环境中处理过晶圆，那么你一定了解能源被浪费的痛点。来自加热源的大量能量都浪费在了真空室的墙壁上。这不仅浪费了电能，更浪费了时间。 这就是我们选择使用黄金的原因。
镀金反射器的优势
大多数人最初会使用铝制反射器，但问题在于：铝会吸收太多的红外能量。而黄金则不同——它能够高效地将红外射线反射回原来的方向。 当我们将高功率的红外灯放入镀金反射腔中时，反射器就会把能量集中到目标区域。这样就能产生更集中、更强烈的光束。最棒的是，无需提高电源功率或给电气系统带来额外负担，就能让晶圆获得更高的温度。
真空环境下的加热难题
在真空中加热物体是个挑战，因为没有空气来传递热量。一切都是通过辐射来实现的。 这意味着灯管会迅速变得非常热。我们需要将大量功率集中在狭小的空间内，但同时必须小心处理冷却系统。如果水冷系统不够强大或出现故障，就可能导致涂层损坏或石英外壳烧毁。这确实是一个需要精心平衡的问题。
让其发挥最佳效果
我们设计的加热器结构简单，可以轻松安装在现有的真空系统中，无需麻烦。 由于能量高度集中，晶圆能更快地被加热。而且，整个表面的温度也更加均匀。再也不用担心因为局部过热而导致晶圆变形或批次产品质量下降的问题了。 归根结底，这还是物理学原理的作用——更好的反射意味着更少的能量浪费，而更少的能量浪费则意味着可以更快地完成加工过程。