晶圆加工设备用温度传感器

确保晶圆加工设备不会发生故障 在处理高精度的晶圆加工设备时，容错率极低。哪怕有微小的电气泄漏，整批硅片就会报废。 因此，我们不会只进行抽样检测。我们会对每一个部件进行全面的耐压测试和绝缘电阻测试。没有例外。 对系统施加压力 实际上，大多数泄漏都是因为石英材料中的微小裂纹或密封不严所导致的。为了发现...