确保晶圆加工设备不会发生故障
在处理高精度的晶圆加工设备时，容错率极低。哪怕有微小的电气泄漏，整批硅片就会报废。
因此，我们不会只进行抽样检测。我们会对每一个部件进行全面的耐压测试和绝缘电阻测试。没有例外。
对系统施加压力
实际上，大多数泄漏都是因为石英材料中的微小裂纹或密封不严所导致的。为了发现这些问题，我们会对设备施加极高的电压——远高于实际生产中所使用的电压。这样做的目的是让那些隐藏的缺陷在测试过程中暴露出来，而不是在设备实际使用时才出现故障。
如果泄漏电流过高，那我们就直接报废该部件。就这么简单。
安全性的另一面
虽然高压测试可以发现漏洞，但绝缘电阻测试则能反映材料的整体状况。我们会检测带电部件与接地框架之间的兆欧值。虽然这是个繁琐的步骤，但它能确保断路器不会误动作。更重要的是，它还能避免电磁干扰，从而保护原本就非常敏感的晶圆。
现实中的问题
说实话，没有任何绝缘材料是可以永远保持完好的。设备会持续经历热胀冷缩的过程，最终会导致密封件磨损。虽然我们的测试能确保设备在初始状态下一切正常，但仍需定期检查其泄漏电流。
一些来自生产现场的建议：
如果你使用的是高功率密度的元件，那么其连接器也会承受很大的压力。请确保接线方式能够承受如此高的热量，否则导线上的绝缘层就会被烧毁。另外，如果电压接近规格上限，那就必须仔细检查冷却系统。一旦外壳变软，那就麻烦了。