ফ্যাব ফ্লোরে, ফটোরেসিস্ট বেক করাটা কোনো “উষ্ণতা-প্রস্তুতি” প্রক্রিয়া নয়। এটা একটি গুরুত্বপূর্ণ প্রক্রিয়া। সফট বেক করার সময় ২°C এর মতো তাপমাত্রা-পরিবর্তন হলে ওয়েফারের আকারে গুরুতর পরিবর্তন ঘটে। আমরা নির্ভুল ইনফ্রারেড হিটার ব্যবহার করি; যাতে তাপমাত্রা নিয়ন্ত্রণে থাকে।
প্রযুক্তিগতভাবে কী গুরুত্বপূর্ণ?
আমরা শর্ট-ওয়েভ NIR সোর্স ব্যবহার করি; এর ফলে প্রতিক্রিয়া সেকেন্ডের মধ্যেই ঘটে। ওয়েফারের তাপমাত্রা ±০.১°C এর মধ্যেই থাকে। হিটারটি কোয়ার্টজ ও উচ্চ-ঘনত্বসম্পন্ন সিরামিক দিয়ে তৈরি; ফলে কোনো ধরনের গ্যাস নির্গমন বা কণা উৎপন্ন হয় না। এতে ক্লিনরুম ক্লাস ১–১০০ এর মধ্যেই থাকা যায়। প্রতিবার বেক করার সময় তাপমাত্রা ±০.৫°C এর মধ্যেই থাকে। ক্লোজড-লুপ নিয়ন্ত্রণ ব্যবস্থার ফলে প্যাটার্নের কিনারায় কোনো অতিরিক্ত তাপ উৎপন্ন হয় না।
বাস্তব পরিস্থিতিতে কেন এটা কার্যকর?
লিথোগ্রাফি প্রক্রিয়ায় হিটারটি সরাসরি বেক প্লেটে স্থাপিত হয়। এতে সাবস্ট্রেটের তাপমাত্রা নিয়ন্ত্রণে থাকে; ফলে ওয়েফারের আকার স্থিতিশীল থাকে। এর ফলে পুনরাবৃত্তির প্রয়োজন কমে যায়, আর উৎপাদনের হার বেড়ে যায়।
শক্তি সাশ্রয় হয়; কারণ শক্তি ওয়েফারেই যায়, আশেপাশের অন্যান্য অংশে নয়। এছাড়া, এই যন্ত্রগুলো ২৪/৭ কাজ করে; কোনো অপ্রত্যাশিত বন্ধ হওয়ার ঘটনা নেই। সার্ভিস ইন্টারভ্যাল ৫,০০০ ঘন্টারও বেশি হয়।
কী ঠিকভাবে করতে হবে?
হিটারের জন্য পরিষ্কার, শুষ্ক গ্যাস এবং স্থিতিশীল ভোল্টেজ প্রয়োজন। ভোল্টেজ কমে গেলে তাপমাত্রায় পরিবর্তন হয়; এর ফলে ত্রুটি দেখা দেয়। ইনস্টলেশনের ক্ষেত্রে খুব সতর্ক থাকতে হয়—ওয়েফারের সাথে হিটারটির সামঞ্জস্য ঠিক রাখতে হয়; অন্যথায় স্থিতিশীলতা নষ্ট হয়। ওয়েফারের আকার ও বেকিং প্রক্রিয়া অনুযায়ী উপযুক্ত ওয়াটেজ ও অ্যাপারচার নির্ধারণ করতে হবে। অন্যথায় পুনরাবৃত্তি সমস্যা দেখা দেবে।