Hören Sie auf, Ihre Ausrüstung zu überhitzen!
Wenn Sie bereits in einer Halbleiterfabrik gearbeitet haben, wissen Sie, wie schwierig das sein kann. Man muss die Wafer oder Substrate wirklich stark erhitzen – aber man möchte nicht, dass der Rest der Ausrüstung ebenfalls überhitzt.
Herkömmliche Strahlungswärmequellen sind ziemlich unpraktisch: Sie verteilen die Wärme überallhin. Schnell werden die Innenseiten der Behälter überhitzt, es kommt zu Sicherheitsabschaltungen und die empfindlichen Bauteile werden beschädigt. Das ist wirklich problematisch.
Wir lösen dieses Problem, indem wir direktionale UHP-Infrarotlampen verwenden.
Die Wärme genau dorthin leiten
Stellen Sie sich das wie den Unterschied zwischen einer Glühbirne und einer Taschenlampe vor. Anstatt Wärme in alle Richtungen abzugeben, nutzen wir Kurzwellen-Infrarottechnologie. Durch angepasste Geometrie des Filaments sowie zusätzliche Reflektoren wird die Wärme direkt auf das Ziel gerichtet. So bleibt die Energie auf dem Werkstück – die Wände bleiben kühl. Ganz einfach.
Reinheit der Materialien – und die damit verbundenen Probleme
In Vakuumkammern ist Kontamination ein großes Problem. Schon eine kleine Menge an Gasen kann alles zerstören. Deshalb verwenden wir hochreinen synthetischen Quarz für die Gehäuse dieser Lampen. Keine Metallionen – keine unerwünschten Effekte.
Außerdem arbeiten diese Lampen sehr schnell: Man erreicht die gewünschten Temperaturen innerhalb weniger Sekunden.
Aber Achtung: Achten Sie auf die Leistungsdichte! Wenn Sie zu viel Leistung in einen kleinen Raum packen, werden Ihre Anschlüsse darunter leiden. Wenn Ihr Kühlsystem mit der Leistung der Lampe nicht mithalten kann, werden die Anschlüsse beschädigt.
Funktionieren in der Praxis
Das Beste daran: Die Innenseiten der Behälter fungieren nicht mehr als riesige Wärmeableiter, sondern bleiben einfach eine neutrale Zone. Dadurch wird die Maschine viel sicherer, wenn das Personal sie warten muss. Zudem muss das Kühlsystem weniger arbeiten.
Es gibt jedoch eines: Die Ausrichtung der Lampe ist entscheidend. Wenn die Lampe nur um wenige Grad falsch ausgerichtet ist, trifft die Wärme trotzdem die Wände. Man muss die Lampe perfekt ausrichten, um die Vorteile zu nutzen.