در مرحله خشک کردن ویفر، قبل از فرآیند لیتوگرافی، کیفیت تولید محصول به شدت تحت تأثیر این مرحله قرار میگیرد؛ و این تأثیرات معمولاً چندان ناچیز نیستند. باقیماندههای فوتورزیست، نشانههای ناشی از آب، و مشکلات مربوط به لبههای ویفر… در بیشتر موارد، میتوان این مشکلات را به تغییرات دما، کنترل ضعیف دما، یا جدا شدن ذرات از خود دستگاه نسبت داد. ما دستگاه گرمکن خشککننده «Lab-on-a-Chip» را طراحی کردهایم تا این متغیرها را از بین ببرد.
عوامل مهم در کارکرد دستگاه
این دستگاه از اجزای مادونقرمز با طول موج کوتاه استفاده میکند؛ همچنین، طراحی حرارتی آن به گونهای است که یکنواختی دما در سراسر ناحیه فعال ویفر حدود ±۰.۱ درجه سانتیگراد باشد. تکرارپذیری دما نیز بین دفعات مختلف، حدود ±۰.۲ درجه سانتیگراد است؛ این موضوع باعث میشود فرآیندهای خشک کردن یکنواخت باقی بمانند… که دقیقاً همان چیزی است که برای کارهای مربوط به فوتورزیست مورد نیاز است.
این دستگاه با محیطهای پاکسازی شده در کلاس ۱ تا ۱۰۰ سازگار است؛ زیرا از موادی با انتشار گاز کم، اتصالات محکم، و ساختاری که مانع از انتشار ذرات میشود، استفاده میکند. در خطوط تولید آزمایشی ما، این دستگاه ۲۴ ساعته کار میکند و هیچ توقف غیرمنتظرهای ندارد؛ همچنین، میزان مصرف انرژی آن نیز به گونهای تنظیم شده که با نیازهای حرارتی سوبستراهای Lab-on-a-Chip هماهنگ باشد.
چرا این دستگاه مناسب فرآیندهای تولید است
در فرآیندهای تولید Lab-on-a-Chip، زمان خشک کردن بسیار محدود است؛ بنابراین نیاز به خشک کردن سریع، کنترل دقیق دما، و فرآیندی که باعث آلودگی نشود، وجود دارد. این دستگاه، سیستمهای قدیمی گرمایشی را با یک راهحل قابل اعتماد جایگزین میکند؛ راهحلی که مطابق با استانداردهای بینالمللی تجهیزات نیمههادی است.
نتایج این کار قابل پیشبینی است: کنترل دقیقتر ابعاد مهم، کاهش تعداد کارهای تکراری، و زمانهای تولید قابل پیشبینی. وقتی که تغییرات دما از بین برود، فرآیندهای تولید بهتر خواهند بود؛ همچنین، نقصهای ناشی از خشک کردن ناکافی یا بیش از حد نیز کاهش خواهد یافت.
جزئیات عملی که باید در نظر گرفت
برای نصب این دستگاه، به منبع تغذیه ۲۴ ولت DC و سیستم زمینسازی مناسب نیاز است؛ اگر در نزدیکی دستگاه ابزارهای حساس به امواج الکترومغناطیسی وجود داشته باشد، باید از قبل اقدامات لازم برای جداسازی سیگنالها را انجام داد. این دستگاه به سرعت به دمای مورد نظر میرسد؛ اما میزان گرمای تولید شده بسته به نوع سوبسترا متفاوت است؛ بنابراین باید نرخ افزایش دما را بر اساس نوع سوبسترا مشخص کرد.
ما رابطهای استانداردی برای اتصال این دستگاه فراهم کردهایم؛ اما در صورت استفاده از سوبستراهای غیراستاندارد، لازم است از تجهیزات ویژهای استفاده شود. اگر این تنظیمات را به درستی انجام دهید، میتوانید عملکرد یکنواختی داشته باشید و کمتر با مشکلاتی در کیفیت تولید مواجه شوید.