سنسور دما برای ابزار ویفر
تضمین عدم خرابی ابزارهای مورد استفاده در فرآیندهای تولید ویفرها
وقتی که با ابزارهای بسیار دقیق برای تولید ویفرها کار میکنید، حدود اشتباه بسیار کم...
انعکاسکننده برای لامپ خشککن ویفر
متوقف کنید اتلاف گرما در فرآیند خشکسازی ویفرها هنگام خشکسازی ویفرها، پروفایل حرارتی باید دقیق باشد. اما مشکل اینجاست که اکثر سیستمها گرما را به...
گرمکن خشککن ویفر حسگر MEMS
روشی هوشمندانهتر برای خشک کردن ویفرهای MEMS (و صرفهجویی در مصرف انرژی)
هنگام خشک کردن ویفرهای سنسورهای MEMS، در واقع باید با دقت عمل کنید؛ باید...
گرمکن ویفر با مصرف انرژی کم
حفاظت از هیترهای ویفر و تجهیزات شما
هیترهای ویفر در شرایط بسیار دشواری قرار دارند؛ گرمای زیادی در فضای بسیار کوچکی تولید میشود، و فرصت خطا نیز...
سنسور مادون قرمز با دقت بالا برای ویفرها
کاهش انتشار کربن در کارخانههای تولید نیمههادی: چرا استفاده از سیستم گرمایش مادون قرمز دقیق مؤثر است
امروزه همه درباره «کارخانههای سبز» صحبت...
عنصر گرمایشی فر خشککن ویفر
مقدمه فرهای خشککن ویفرها، دستگاههایی بسیار پیچیده هستند. آنها به یک عنصر گرمایشی نیاز دارند که بتواند دما را به سرعت افزایش دهد، آن را در سطح...
گرمکن مادون قرمز برای ویفر پس از تمیزکاری
در خط تولید، مرحله پس از تمیزکاری همانجاست که میزان بازدهی محصول میتواند در عرض چند دقیقه کاهش یابد. ویفرها پس از تمیزکاری، دارای سطحی ناهموار و...
سیستم گرمایش منطقهای برای کارخانههای پیشرفته تولید ویفر
در کارخانه تولید، حتی تغییر دمای ۰.۳ درجه سانتیگراد در سطح ویفر نیز میتواند باعث اختلال در عملکرد CD شود؛ همچنین میتواند باعث اختلال در لایههای...
گرمکن پروب ویفر الیپسومتری
در کارخانههای تولید، نوسانات دما در حین بررسی ویفرها و فرآیندهای پخت رزیست، نه تنها باعث اختلال در استانداردهای مشخص شده میشود، بلکه منجر به از بین...
گرمکردن لایه نازک ویفر با مادون قرمز
On the fab floor, wafer thinning is a thermally sensitive operation. A non-uniform heat profile during infrared heating doesn’t just distort...