متوقف کنید اتلاف گرما در فرآیند خشکسازی ویفرها
هنگام خشکسازی ویفرها، پروفایل حرارتی باید دقیق باشد. اما مشکل اینجاست که اکثر سیستمها گرما را به همه جا تخلیه میکنند؛ در نتیجه، ماشین گرم میشود، نه ویفر.
این یک هدررفت است؛ نه تنها از نظر انرژی، بلکه از نظر پول نیز.
جهت تخلیه گرما
فرض کنید یک لامپ خشکسازی بدون منعکسکننده داشته باشیم؛ بیش از نیمی از انرژی آن از پشت لامپ خارج میشود. در واقع، این لامپ مانند یک دستگاه گرمایشی برای کارخانه عمل میکند.
ما این مشکل را با استفاده از منعکسکنندههای طلاکوب یا آلومینیوم با خلوص بالا حل میکنیم؛ این منعکسکنندهها انرژی را دوباره به جای مناسب آن، یعنی روی ویفر، هدایت میکنند.
نتیجه چیست؟ شما همان نتیجه خشکسازی را خواهید داشت، اما میتوانید میزان توان مورد نیاز را کاهش دهید؛ در نتیجه، هزینه برق کاهش مییابد و فشار کربنی نیز کمتر میشود. این یک راهحل بهینه است.
خطرات «نقاط سرد»
موادی که استفاده میکنید اهمیت دارد؛ اگر از امواج مادون قرمز کوتاه استفاده میکنید، باید از موادی استفاده کنید که در شرایط دمای بالا تغییر شکل ندهند.
اگر منعکسکنندهها تغییر شکل دهند یا شروع به اکسید شدن کنند، نقاط سردی روی ویفر ایجاد میشود. اکثر افراد برای جبران این مشکل، توان لامپ را افزایش میدهند؛ اما این کار را نکنید!
افزایش بیش از حد توان، باعث کاهش کارایی لامپ و سوختن سریعتر آن میشود.
تعادل بین کارایی و مزایا
رویکرد «سبز»، روش جادویی نیست؛ بلکه نیازمند تعادلی بین کارایی و مزایاست.
از آنجایی که این منعکسکنندهها گرما را به شدت تمرکز میکنند، اطراف لامپ نیز گرم میشود؛ بنابراین نمیتوانید از سیستمهای خنککننده چشمپوشی کنید. اگر جریان هوا ضعیف باشد، پوششهای لامپ خراب خواهند شد؛ بنابراین باید از سیستمهای خنککننده مناسب استفاده کنید.
راه حل ساده
ما این منعکسکنندهها را به گونهای طراحی کردهایم که بتوان آنها را به جای منعکسکنندههای قدیمی استفاده کرد؛ نیازی نیست کل خط تولید را تغییر دهید یا سرعت تولید را کاهش دهید.
فقط کافی است شکل منعکسکننده را تغییر دهید؛ در نتیجه، میزان کیلوواتساعت مصرفی در هر چرخه کاهش خواهد یافت. برای کسانی که میخواهند فضای تولیدی خود را سبز کنند، این روش احتمالاً بهترین راه است.