در کارخانه تولید، حتی تغییر دمای ۰.۳ درجه سانتیگراد در سطح ویفر نیز میتواند باعث اختلال در عملکرد CD شود؛ همچنین میتواند باعث اختلال در لایههای فوتورزیست و فراتر رفتن دما از حد مجاز آن شود. هیچ چراغ هشداری وجود ندارد؛ تنها چیزی که اتفاق میافتد، از بین رفتن محصولات تولید شده است… و البته نیاز به تماس فوری با بخش لیتوگرافی.
آنچه واقعاً اهمیت دارد: ما سیستم گرمایش منطقهای را طوری طراحی کردهایم که هر منطقه به صورت جداگانه و تحت کنترل دقیق، گرم شود. هر منطقه از فرستندههای نور در طیف مادون قرمز استفاده میکند؛ این فرستندهها دارای پروفایل دمایی پایدار هستند و دمای ویفر را در محدوده ۱۵۰ تا ۳۰۰ درجه سانتیگراد، با دقت ±۰.۱ درجه، حفظ میکنند.
بلوک گرمایشی نیز برای استفاده در اتاقهای پاکسازی درجه ۱ تا ۱۰۰ طراحی شده است؛ مواد استفاده شده در ساخت آن دارای میزان گاز خروجی کمی هستند، هیچ چسبی در آن وجود ندارد، و سطح آن به گونهای است که تعداد ذرات موجود روی سطح کنترل شده باشد. انرژی نیز از طریق کابلهای محافظتشده و مناسب برای جلوگیری از اختلالات الکترومغناطیسی، ارسال میشود؛ همچنین فریمور کنترلی، هر مرحله از فرآیند گرمایش را ثبت میکند؛ بنابراین نیازی به حدس و گمان نیست، فقط دقت عملیاتی بالاست.
چرا این روش در فرآیند فوتورزیست مؤثر است: در روشهای گرمایش نرم و سخت، سیستم گرمایش منطقهای باعث میشود که کل ویفر در محدوده مشخصی باقی بماند؛ این امر باعث کاهش تغییرات ناشی از بازتاب نور میشود و همچنین به حل مشکلات مربوط به لبههای ویفر کمک میکند. در نتیجه، لایههای حساس ویفر یکنواختتر خواهند بود، تعداد کارهای تکراری کمتر خواهد بود، و بازه عملیاتی نیز دقیقتر خواهد بود؛ بدون نیاز به تغییر در روشهای فرآیندی.
مصرف انرژی نیز کاهش مییابد؛ زیرا تنها مناطق فعال گرم میشوند. همچنین، زمان کارکرد دستگاه نیز بهبود مییابد؛ زیرا این سیستم میتواند با نرخهای بالایی کار کند، بدون ایجاد خستگی حرارتی. ما دستگاههایی داریم که بیش از ۵۰۰۰ ساعت کار کردهاند، بدون اینکه دمای خروجی آنها بیش از ۵٪ تغییر کند.
آنچه باید در نظر بگیرید: برای استفاده از سیستم گرمایش منطقهای، به یک رابط مکانی تمیز و منابع انرژی پایدار نیاز است. باید اندازه و محل نصب دستگاه را با صفحه گرمایش مطابقت دهید، بودجه گاز و انرژی خود را مشخص کنید، و یک آزمایش کوتاه برای تنظیم اختلافات دمایی انجام دهید.
البته، زمان لازم برای راهاندازی دستگاه کمی بیشتر است؛ اما این بهایی است که باید پرداخت شود، تا بتوانید فرآیند گرمایش را به طور مداوم و با اطمینان انجام دهید.