تضمین عدم خرابی ابزارهای مورد استفاده در فرآیندهای تولید ویفرها
وقتی که با ابزارهای بسیار دقیق برای تولید ویفرها کار میکنید، حدود اشتباه بسیار کم است. یک نشت کوچک الکتریکی هم میتواند منجر به نابودی کل محموله سیلیکونی شما شود.
به همین دلیل، ما در اینجا از آزمایشهای نمونهای استفاده نمیکنیم؛ یعنی فقط چند قطعه را آزمایش کرده و امیدوار به بهترین نتیجه میشویم. تمام لامپها و عناصر گرمایشی که از کارخانه ما خارج میشوند، تحت آزمایشهای کامل مقاومت الکتریکی قرار میگیرند؛ هیچ استثنایی وجود ندارد.
تستهای فشاری بر روی سیستم
روش کار اینگونه است: اکثر نشتها به دلیل ترکهای ریز در کوارتز یا نشتهای ناشی از ناخالصیهای موجود در قطعات ایجاد میشود. برای پیدا کردن این نشتها، ما از تستهای فشار بالا بر روی تجهیزات استفاده میکنیم؛ فشاری که بسیار بالاتر از فشار مورد استفاده در فرآیندهای تولید است. هدف این است که هر نقطه ضعیفی در تجهیزات، در همین مرحله شناسایی شود، تا در فرآیندهای تولید مشکلی ایجاد نشود.
اگر جریان نشت بیش از حد باشد، آن قطعه را دور میاندازیم؛ این کار بسیار ساده است.
جنبههای مربوط به ایمنی
در حالی که تستهای فشار بالا به شناسایی نقاط ضعیف کمک میکنند، تستهای مقاومت الکتریکی نیز اطلاعاتی درباره سلامت کلی مواد ارائه میدهند. ما مقدار مگااهم بین عناصر الکتریکی و بدنه تجهیزات را بررسی میکنیم. این کار کمی خستهکننده است، اما این همان روشی است که از خاموش شدن سیستم جلوگیری میکند. مهمتر از آن، این روش از ورود نویز الکتریکی به محیط تولید ویفرها جلوگیری میکند؛ چرا که محیط تولید ویفرها از اصل خود بسیار حساس است.
واقعیتهای مربوط به تولید ویفرها
باید صادق باشیم: هیچ ماده عایقی برای همیشه دوام نمیآورد. ابزارهای مورد استفاده در تولید ویفرها، مدام تحت تغییرات دمایی قرار میگیرند؛ این امر باعث فرسودگی قطعات عایقکننده میشود. اگرچه آزمایشهای ما تضمین میکنند که همه چیز در روز اول کاملاً بینقص است، اما شما همچنان باید جریان نشت را در طول زمان زیر نظر داشته باشید.
چند توصیه از سوی کارکنان کارخانه:
اگر از عناصری با توان بالا استفاده میکنید، کانکتورهای شما تحت فشار زیادی قرار خواهند گرفت. مطمئن شوید که سیمهای شما میتوانند گرمای بالا را تحمل کنند؛ در غیر این صورت، عایقهای سیمها ذوب خواهند شد.
همچنین، اگر فشار الکتریکی را به حداکثر ممکن برسانید، حتماً سیستم خنککننده خود را بررسی کنید؛ اگر پوشش سیستم خنککننده نرم شود، مشکلاتی پیش خواهد آمد.