دیگر انرژی خود را هدر ندهید: حقیقت درباره لامپهای مادون قرمز پوشیده شده با طلا
اگر شما در فرآیند تولید ویفرهای نیمههادی کار میکنید و انرژی زیادی را از دست میدهید، پس مشکلی در طراحی دستگاه شما وجود دارد.
هنگام استفاده از لامپهای مادون قرمز بدون اسید اوزون، هدف صرفاً گرم کردن سطح ویفر نیست؛ بلکه باید انرژی به درستی به سمت سطح ویفر هدایت شود، بدون اینکه محیط اطراف آن تحت تأثیر قرار بگیرد.
چرا از طلا استفاده میکنیم؟
اکثر افراد از منعکسکنندههای آلومینیومی استفاده میکنند، اما آلومینیوم انرژی زیادی را جذب میکند؛ در واقع مانند تلاش برای پرتاب توپ به سمت یک اسفنج است.
ما از طلا استفاده میکنیم، زیرا طلا در بازتاب نور مادون قرمز بسیار موثر است. به این ترتیب، فریم دستگاه انرژی زیادی را جذب نمیکند و طبقه طلا نور را دوباره به سمت هدف هدایت میکند. در نتیجه، تمرکز انرژی بهتر میشود و انرژی بیشتری در هر میلیمتر مربع وجود دارد؛ این روش کارآمدتر است.
مقابله با گرما
از آنجایی که این لامپها فاقد اسید اوزون هستند، طول موج ۱۸۵ نانومتر را حذف میکنند. این موضوع عالی است، زیرا دیگر نیازی نیست نگران تجمع اسید اوزون در دستگاه باشید. محیط دستگاه پایدار باقی میماند و این موضوع کار را آسانتر میکند.
اما یک مشکل وجود دارد: وقتی انرژی زیادی در فضای کوچکی تولید میشود، بار گرمایی بسیار زیادی ایجاد میشود. اگر از دستگاههایی با توان بالا استفاده کنید، نمیتوانید از سیستمهای خنککننده مناسب استفاده نکنید. اگر جریان هوا کمی نامنظم باشد، مشکلات گرمایی پیش خواهد آمد؛ این امر منجر به تغییرات ناهموار در فرآیند پخت ویفرها میشود.
مزایا و معایبی که باید بدانید
طلا در بازتاب نور بسیار موثر است، اما خیلی نرم است. اگر از این منعکسکنندهها مانند آلومینیوم استفاده کنید، آنها خراب خواهند شد. بهتر است از روشهای تمیزکاری بدون تماس استفاده کنید. یک خراش کوچک نیز میتواند باعث از بین رفتن نقطه تمرکز انرژی شود و این امر باعث ایجاد نقاط سرد روی ویفرها میشود.
نکته آخر: این لامپها را به یک کنترلکننده PID دقیق متصل کنید.
از آنجایی که طلا باعث میشود جریان گرما بسیار مؤثرتر شود، ویفرها سریعتر به دمای مورد نظر میرسند. شما باید منحنیهای تغییر دما را تنظیم کنید؛ در غیر این صورت، ریسک شوک گرمایی وجود دارد، و هیچ کس این را نمیخواهد.