در کارخانههای تولید، فرآیند حرارتدهی به ورقهای سیلیکونی، صرفاً یک فرآیند گرمکردن ساده نیست؛ بلکه یک فرآیند مهم برای کنترل ابعاد ویژه ورقهای سیلیکونی است. تغییر دمای ۲ درجه سانتیگراد در طول فرآیند حرارتدهی، میتواند باعث ایجاد تغییرات قابل توجهی در ابعاد ورقهای سیلیکونی شود. ما هیترهای مادونقرمز دقیقی را طراحی کردهایم تا دمای مناسب را در نقاط مهم حفظ کنند.
از نظر فنی، چه چیزی اهمیت دارد؟
ما از منابع نوری با طول موج کوتاه استفاده میکنیم؛ پاسخ این منابع در کمتر از یک ثانیه اتفاق میافتد، و یکنواختی دمای ورقهای سیلیکونی در محدوده ±۰.۱ درجه سانتیگراد باقی میماند. بدنه هیتر از کوارتز و سرامیک با خلوص بالا ساخته شده است؛ بنابراین هیچ گازی از آن خارج نمیشود و هیچ ذرهای نیز تولید نمیگردد. در نتیجه، محیط کار در دسته کلاس ۱ تا ۱۰۰ باقی میماند. تکرارپذیری دما در هر چرخه حرارتدهی، در محدوده ±۰.۵ درجه سانتیگراد است؛ بنابراین هر بار حرارتدهی، دمای مناسبی برای ورقهای سیلیکونی فراهم میشود. کنترل خودکار از طریق پیرومترهای تنظیمشده و SSRهای پایدار انجام میشود؛ این روش باعث حذف نقاط گرم در لبههای ورقهای سیلیکونی میشود.
چرا این روش در شرایط واقعی مؤثر است؟
در فرآیندهای لیتوگرافی، هیتر مستقیماً درون صفحه حرارتدهی قرار میگیرد؛ بنابراین دمای آن با دمای ورقهای سیلیکونی هماهنگ میشود. در نتیجه، کنترل ابعاد ورقهای سیلیکونی به خوبی انجام میشود. تعداد محصولات نیازمند تعمیر کمتر میشود و بازدهی تولید نیز قابل پیشبینیتر میگردد. مصرف انرژی نیز کاهش مییابد؛ زیرا انرژی صرف ورقهای سیلیکونی میشود، نه بخشهای اطراف آن. همچنین، زمان کارکرد این دستگاهها ۲۴/۷ است و هیچ توقف غیرمنتظرهای وجود ندارد؛ مدت زمان استفاده از این دستگاهها نیز بیش از ۵۰۰۰ ساعت است.
چه چیزهایی برای عملکرد درست دستگاه ضروری است؟
هیتر نیاز به منبع گاز تمیز و خشک و ولتاژ پایدار دارد. کاهش ولتاژ میتواند باعث تغییرات موقتی در دما شود؛ این تغییرات منجر به خطاهایی در ابعاد ورقهای سیلیکونی میشود. محدودیتهای نصب نیز بسیار دقیق هستند؛ تنظیم دقیق هیتر نسبت به ورقهای سیلیکونی باید در محدوده ۰.۵ میلیمتر باشد تا یکنواختی دما حفظ شود. باید ولتاژ و توان مناسبی برای اندازه ورقهای سیلیکونی و روش حرارتدهی انتخاب شود؛ در غیر این صورت، تکرارپذیری عملکرد دستگاه کاهش خواهد یافت.