מייבש FOUP (תא אחסון מאוחד עם פתיחה קדמית)

מרחב הליתוגרפיה FOUP ייכנס למסלול עם 25 ופרים, כל אחד מצופה חדש בפוטורזיסט. מודול האפייה חייב להגיע לטמפרטורה היעדית, באופן אחיד, מחזור אחרי מחזור....