FOUP フロントオープニングユニファイドポッド ドライヤー

リソグラフィ工程では、FOUPが25枚のフォトレジスト塗布済みウェーハを載せてトラックにローリングインする。ベイクモジュールは、サイクルごとに均一に目標温度に到達しなければならない。0.5°Cずれると粒子発生が急増し、昼前に歩留まりを損なう。こうした不確実性を排除するために、我々はFOUPドライヤ...